[實用新型]一種太陽能電池擴散用盛源裝置

有效

• 申請號: 201220425747.8
• 申請日: 2012-08-27
• 公開（公告）號: CN202786518U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 翟金權;張超;勾憲芳;姜利凱;王鵬
• 申請（專利權）人: 中節能太陽能科技（鎮江）有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 繆友菊

技術領域

本實用新型涉及一種太陽能電池擴散用盛源裝置。

背景技術

太陽能電池生產中工序有制絨、擴散、刻蝕、PECVD、絲印，其中擴散工序中主要用的氣體是三氯氧磷，簡稱源，擴散熱處理是在有計劃的通入P源后完成的，源的純度、流量都會直接影響到擴散的工藝參數方塊電阻，由于生產過程中源的不斷消耗，常常因為液面不足導致擴散后的方阻不均勻和偏大的現象，方塊電阻太大或太小直接影響到成品后的轉換效率，另一方面，由于液面太低，底部的源液作廢舍棄，既浪費也存在安全隱患。

實用新型內容

實用新型目的：本實用新型的目的在于針對現有技術的不足，提供一種可以充分利用源夜的太陽能電池擴散用盛源裝置。

技術方案：本實用新型所述的太陽能電池擴散用盛源裝置，包括圓柱形源瓶和設置于源瓶上端的送氣管和出氣管，源瓶的內底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄。此結構作用在于源越來越少時，可以流入到最薄的地方，更好的蒸發，節約了源的浪費。

源瓶的內底部為階梯形圓環結構，階梯形圓環結構由源瓶的瓶壁向中間逐漸收縮，?送氣管的上端位于源瓶上端面的中部，下端位于接近最底層圓環結構的底面處。

有益效果：1、相對于傳統裝置直接是水平地面，源用到一定程度會直接浪費，本實用新型通過設置源瓶的內底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄，直徑逐漸減小的階梯型環形結構，使源從高處向低處集中在一起，送氣管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收從高處向地處集中起來的源，減少源的浪費；2、本實用新型能夠避免因為液面不足造成方塊電阻的不穩定，從而提高轉換效率。

附圖說明

圖1是傳統盛源裝置的立體圖；

圖2是本實用新型的的示意圖；

圖3是本實用新型的主視圖。

具體實施方式

下面對本實用新型技術方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于所述實施例。

實施例：本實用新型的太陽能電池擴散用盛源裝置，包括圓柱形源瓶1和設置于源瓶1上端的送氣管2和出氣管3，源瓶1的內底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄。

源瓶1的內底部為階梯形圓環結構，階梯形圓環結構由源瓶1的瓶壁向中間逐漸收縮，?送氣管2的上端位于源瓶1上端面的中部，下端位于接近最底層圓環結構的底面處。

具體使用時，將三氯氧磷倒入源瓶1中，從送氣管2通入氮氣，氣體從出氣管3送出進入擴散環節。

如上所述，盡管參照特定的優選實施例已經表示和表述了本實用新型，但其不得解釋為對本實用新型自身的限制。在不脫離所附權利要求定義的本實用新型的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節上作出各種變化。