[實(shí)用新型]整體式多振鏡頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220425725.1
• 申請(qǐng)日: 2012-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN202854402U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳剛;辛晨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢吉事達(dá)激光技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08
• 代理公司: 武漢帥丞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42220
• 代理人: 朱必武;曾祥斌

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種激光掃描用的振鏡頭，特別是涉及一種整體式多振鏡頭。

背景技術(shù)

激光振鏡頭是一種激光矢量掃描器件。每個(gè)激光振鏡頭上安裝有兩個(gè)軸線成一定角度的擺動(dòng)電機(jī)，每個(gè)擺動(dòng)電機(jī)軸上安裝有反射鏡，在輸出光路上設(shè)置有F-θ透鏡，輸入的激光光束先后經(jīng)過兩個(gè)擺動(dòng)電機(jī)上反射鏡，再通過F-θ透鏡后輸出，輸出的激光光束能聚焦在其掃描范圍內(nèi)的一個(gè)平面上。

激光振鏡頭的兩個(gè)擺動(dòng)電機(jī)的通電線圈在磁場中產(chǎn)生力矩，其轉(zhuǎn)子上通過機(jī)械扭簧或電子的方法加有復(fù)位力矩，復(fù)位力矩的大小與轉(zhuǎn)子偏離平衡位置的角度成正比，當(dāng)線圈通以一定的電流而轉(zhuǎn)子發(fā)生偏轉(zhuǎn)到一定的角度時(shí)，電磁力矩與回復(fù)力矩大小相等，故擺動(dòng)電機(jī)不像普通電機(jī)一樣旋轉(zhuǎn)，只能偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角與電流成正比，其速度快，精度高，在工業(yè)生產(chǎn)的激光刻蝕機(jī)、激光切割機(jī)等多種設(shè)備上得到了應(yīng)用。

在擺動(dòng)電機(jī)最大偏轉(zhuǎn)角一定的情況下，激光振鏡頭的掃描范圍隨著F-θ透鏡的焦距增大而增大，但是，隨著過F-θ透鏡的焦距增大，激光振鏡頭的精度也會(huì)降低，焦點(diǎn)光斑的直徑也變大，所以，對(duì)于要求精度要求高、刻蝕線寬要求精細(xì)的激光刻蝕機(jī)來說，長焦距的F-θ透鏡滿足不了要求，人們只能采用短焦距的F-θ透鏡，但短焦距的F-θ透鏡一掃描范圍小、速度低。為此，人們采用多個(gè)短焦距的F-θ透鏡激光振鏡頭拼接在一起來滿足其高精度、線寬精細(xì)、高速度的要求。

專利申請(qǐng)?zhí)枮?01220003814.7的多振鏡頭激光刻蝕機(jī)，包括機(jī)架、控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、激光發(fā)生器、吸附平臺(tái)、二維振鏡頭、兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和F-θ透鏡組，控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和激光發(fā)生器都安裝在機(jī)架上，激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在吸附平臺(tái)上方，激光發(fā)生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進(jìn)光孔同心，F(xiàn)-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，兩個(gè)交叉的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向相互垂直，其特征在于：激光發(fā)生器、二維振鏡頭和F-θ透鏡組各有多件，多件激光發(fā)生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝。多振鏡頭激光刻蝕機(jī)多套組合同時(shí)工作，每次加工幅面是單套組合的多倍，加工速度快，工作效率高，同樣大小的工件拼接的次數(shù)少。

雖然專利申請(qǐng)?zhí)枮?01220003814.7的多振鏡頭激光刻蝕機(jī)采用多個(gè)振鏡頭后加工速度快，工作效率高，加工精度高，但是，其多個(gè)振鏡頭是由連接板通過螺釘將每個(gè)振鏡頭的固定架連接起來的而組成的，多個(gè)振鏡頭之間的連接剛性差，在組裝過程中，每個(gè)振鏡頭的位置精度很難達(dá)到理想狀態(tài)，安裝調(diào)試?yán)щy，維修拆卸后再安裝很難達(dá)原來精度狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種整體式多振鏡頭，此整體式多振鏡頭的連接剛性好，多個(gè)振鏡頭中的每個(gè)振鏡頭位置精度高，維修拆卸后再安裝能保持原有精度。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的整體式多振鏡頭，包括多個(gè)二維振鏡頭和F-θ透鏡，多個(gè)二維振鏡頭成排排列，每個(gè)二維振鏡頭由兩個(gè)擺動(dòng)電機(jī)和安裝架組成，兩個(gè)軸線成一定角度的擺動(dòng)電機(jī)，每個(gè)擺動(dòng)電機(jī)軸上安裝有反射鏡，F(xiàn)-θ透鏡在安裝架下方，安裝架上還開有入光孔和出光孔，其特征在于：多個(gè)二維振鏡頭的安裝架為一整體結(jié)構(gòu)。

因?yàn)槎鄠€(gè)二維振鏡頭的安裝架為一整體結(jié)構(gòu)，所以各個(gè)二維振鏡頭之間的連接剛性好，在加工時(shí)保證了其精度后，在組裝過程中，每個(gè)振鏡頭的位置精度容易保證，在維修拆卸、再安裝后能恢復(fù)到原有精度狀態(tài)。

所述的整體式多振鏡頭，其特征在于：每個(gè)二維振鏡頭的入光孔位于兩排二維振鏡頭之間，入光孔前設(shè)置有全反鏡，全反鏡反射面與入光孔的軸線成45度角。因?yàn)槎S振鏡頭的兩個(gè)擺動(dòng)電機(jī)成一定角度安裝在安裝架上，其中有一個(gè)擺動(dòng)電機(jī)的位于安裝架上入光孔的另一方向，擺動(dòng)電機(jī)會(huì)伸出安裝架外，使二維振鏡頭入光孔端面到出光孔中心的尺寸小于伸出的擺動(dòng)電機(jī)尾部到出光孔中心的尺寸，當(dāng)二維振鏡頭的入光孔位于兩排二維振鏡頭之間時(shí)，能使兩排二維振鏡頭之間的間距更小，能使用比較短焦距的F-θ透鏡，二維振鏡頭的加工精度高。

本實(shí)用新型的整體式多振鏡頭的連接剛性好，多個(gè)振鏡頭中的每個(gè)振鏡頭位置精度高，維修拆卸后再安裝能保持原有精度。

附圖說明

圖1是二維振鏡頭的工作原理示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是四個(gè)二維振鏡頭成一排布置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是八個(gè)二維振鏡頭成兩排、入光孔位于兩排二維振鏡頭之間布置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

圖1標(biāo)記的說明：擺動(dòng)電機(jī)1，反射鏡2，F(xiàn)-θ透鏡3。