[實用新型]酸性蝕刻液循環再生系統有效
| 申請號： | 201220423840.5 | 申請日： | 2012-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN202717848U | 公開（公告）日： | 2013-02-06 |
| 發明（設計）人： | 韋建敏;趙興文;張小波;張曉蓓;吳圣杰 | 申請（專利權）人： | 成都虹華環保科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/46 | 分類號： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 謝敏 |
| 地址： | 610000 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 酸性 蝕刻 循環 再生 系統 | ||
【權利要求書】：
1.酸性蝕刻液循環再生系統，其特征在于：包括依次連接的蝕刻生產線用水設備（1）、中轉母液罐（2）、母液罐（3）、酸性蝕刻液循環再生設備組（7）、再生子液罐（8）、配液罐（9）、過濾器（10）、子液罐（11），所述相鄰的兩個部件之間還連接有高壓泵。
2.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液循環再生系統，其特征在于：所述酸性蝕刻液循環再生設備組（7）包括三通電子閥門（4）和兩個彼此并聯的酸性蝕刻液循環再生設備（5），所述三通電子閥門（4）的兩個出口端分別連接兩個彼此并聯的酸性蝕刻液循環再生設備（5）。
3.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液循環再生系統，其特征在于：所述酸性蝕刻液循環再生設備組（7）還連接有銅粉回收離心機（6）。
4.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液循環再生系統，其特征在于：所述酸性蝕刻液循環再生系統全部采用封閉式循環結構。
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