[實用新型]用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板

有效

• 申請號: 201220420182.4
• 申請日: 2012-08-23
• 公開（公告）號: CN202786506U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 潘歡歡;郭寬新;孫海知;宋江
• 申請（專利權）人: 海潤光伏科技股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

1.一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，它包括坩堝墊板本體（1），其特征在于所述坩堝墊板本體（1）的上表面設置有多條縱橫交錯布置的槽（2）。

2.根據權利要求1所述的一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，其特征在于所述槽（2）的截面形狀為倒三角形、倒梯形或者矩形。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，其特征在于所述槽（2）內嵌置有隔熱條（3）或者涂敷有保溫涂料。

4.根據權利要求3所述的一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，其特征在于所述坩堝墊板本體（1）的總厚度H為0.1~10cm，所述槽（2）的截面形狀為倒三角形，倒三角形的高h為0.2~9.9cm，倒三角形的底邊長L₁為0.1~10cm，相鄰兩槽（2）的間距d為0.1~5cm。

5.根據權利要求3所述的一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，其特征在于所述坩堝墊板本體（1）的總厚度H為0.1~10cm，所述槽（2）的截面形狀為倒梯形，倒梯形的高h為0.2~9.9cm，倒梯形的頂邊長L₁為0.1~10cm，倒梯形的底邊長L₂為0.1~10cm，相鄰兩槽（2）的間距d為0.1~5cm。

6.根據權利要求3所述的一種用于高效多晶硅片生產的坩堝墊板，其特征在于所述坩堝墊板本體（1）的總厚度H為0.1~10cm，所述槽（2）截面形狀為矩形，矩形的高h為0.2~9.9cm，矩形的寬L₁為0.1~10cm，槽與槽間隔d為0.1~5cm。