[實用新型]探針以及使用該探針的尋邊器

有效

• 申請號: 201220417855.0
• 申請日: 2012-08-22
• 公開（公告）號: CN202770869U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 洪嘉宏;彭柏翰
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

技術領域

本實用新型與利用探針(probe)檢測諸如發光二極管等半導體晶粒性能的點測裝置(prober)有關，特別是指一種探針以及使用該探針的尋邊器(edge?sensor)。

背景技術

點測裝置為一種利用探針檢測諸如發光二極管(light?emitting?diode，LED)等半導體晶粒性能表現或特性參數的設備。點測裝置通常包含有一尋邊器(edge?sensor)，如圖1及圖2所示，習用的尋邊器100包含有一座體110、一懸臂120、一連接于座體110與懸臂120之間的彈性片130，以及一設置于懸臂120一端的探針140，懸臂120與座體110之間還設有一可調預力施加器150，以及二分別固設于懸臂120及座體110的導電體160、170，二導電體160、170受預力施加器150施加的預力作用而保持接觸并電性導通。

利用一可垂直往復運動的進給機構帶動尋邊器100下降或利用一可垂直往復運動的承載臺帶動一待測物上升，探針140可與該待測物接觸，一旦探針140對該待測物所施的針壓(probing?force)使得其反作用力克服該預力時，將造成懸臂120擺動且彈性片130彈性彎曲變形，使得二導電體160、170相互分離而斷路，同時，點測裝置一旦偵測到二導電體160、170斷路的訊號則立即停止前述進給動作。由此，尋邊器100可確保探針140能確實接觸并施予一定壓抵力量于待測物，而且，尋邊器100更可避免探針140對該待測物所施的針壓過大而造成待測物或探針140損傷。

傳統上，探針140的設置方式是先將探針140設置于懸臂120的一可對探針140限位的針座122，再將螺絲180鎖緊于針座122，以將探針140固定于針座122。然而，該探針設置方式不但費時，且鎖設螺絲180的動作會對懸臂120施加一下壓力，使得二導電體160、170相互推抵的力量增加，該動作還可能使二導電體160、170相互磨擦，以及使彈性片130塑性變形。換言之，習用尋邊器100的探針裝設方式不但較為不便與耗時，且在裝設或更換習用尋邊器100的探針140時，尋邊器100的導電體160、170及彈性片130容易損壞。

請參閱中國臺灣專利編號M429100的專利案，該專利提供一種探針針座結構，包含有一概呈N字形的探針，以及一具有可供該探針嵌設的長條形溝槽的針座，雖然該探針針座結構大體上可以解決前述尋邊器100的拆卸及安裝探針不便的問題，且該探針針座結構應用于尋邊器時也可降低在拆卸及安裝探針時損壞尋邊器其他零件的風險。然而，由于針座所開設的長條形溝槽的形狀必須與探針、特別是具有特定彎曲角度的探針尾段形狀互補，因此針座溝槽以及與其搭配使用的探針的幾何形狀和尺寸必須具有較高的加工精度，且探針與針座溝槽公差配合時的裕度(allowance)必須維持在一定的范圍，否則，一旦探針與針座溝槽過度干涉配合，容易造成探針安裝于針座或自針座上拆卸時的困難，以及造成探針在拆裝過程中探針針座與探針容易相互磨損的問題；相反地，一旦探針與針座溝槽過度余隙配合，容易造成嵌卡力量不足而發生探針無法穩固固定的問題。其次，前述溝槽開設于針座時，該溝槽是在該針座的一側面上形成一個完全開放、沒有拘束的開口，一旦裝設的探針承受一朝該開口方向的外力時，容易造成探針位置偏移，甚至脫離。換言之，不管是此處所揭示的傳統探針固定構造或是前述專利所提供的探針針座，仍有不足之處而有待改進。

發明內容

針對上述問題，本實用新型的目的之一在于提供一種尋邊器，其可讓使用者快速的拆卸及安裝探針。

本實用新型的另一目的于提供一種尋邊器，其探針可穩固的安裝于針座，且探針安裝或拆卸時不易造成探針與針座相互磨損。

本實用新型的再一目的在于提供一種尋邊器，其可避免在拆卸及安裝探針時造成尋邊器的其他零件（例如彈性片）損壞。

為達到上述目的，本實用新型所提供的一種尋邊器，其特征在于包含有：一座體；一懸臂件，具有一針座，所述針座具有一定位孔及一卡扣部；一連接件，連接于所述座體與所述懸臂件之間；一探針，具有一長條狀身部、一連接于所述長條狀身部的一端且向下延伸的針尖部，以及一連接于所述長條狀身部的另一端且向上延伸、朝側向延伸或向下延伸的定位部；所述探針的定位部插置于所述針座的定位孔中，且所述探針的長條狀身部為彈性彎曲的卡抵于所述針座的卡扣部。

其中，所述連接件為一彈性片，所述彈性片具有一最大表面，且所述彈性片以其最大表面實質上平行所述懸臂件的長軸方向的方式，連接于所述座體與所述懸臂件之間。