[實(shí)用新型]一種利于定向凝固的散熱平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220417069.0
• 申請日: 2012-08-13
• 公開（公告）號: CN202881447U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王有林;張春慶;王星;王水林
• 申請（專利權(quán)）人: 王有林
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅鑄錠爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其是多晶硅鑄錠爐熱場保溫技術(shù)領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

多晶硅鑄錠爐隔熱籠包括頂板、底板和四周的側(cè)板，且隔熱籠側(cè)板分為上下兩部分和內(nèi)外兩層，隔熱籠上部分內(nèi)側(cè)隔熱板離側(cè)面加熱器較近且隔熱板為石墨碳?xì)植牧希L時間高溫?zé)竞蟾魺岚鍟霈F(xiàn)嚴(yán)重粉化；當(dāng)隔熱籠側(cè)板上下運(yùn)動時，側(cè)板與頂板書摩擦使粉化的石墨粉滑落。長此下去側(cè)面內(nèi)側(cè)隔熱板就會變薄，進(jìn)而影響隔熱籠的整體保溫效果，導(dǎo)致運(yùn)行時加熱功率增加和熱場的溫度梯度出現(xiàn)不均勻，從而導(dǎo)致硅錠長晶時出現(xiàn)陰影。滑落的石墨粉進(jìn)入粉化的硅液中，使硅錠的碳化物嚴(yán)重超標(biāo)。為了保證爐子的正常使用和硅錠的質(zhì)量指標(biāo)，隔熱籠上部分內(nèi)側(cè)保溫板使用1年左右就需要更換。這樣，無疑增加了成本，且在一定程度上影響生產(chǎn)進(jìn)度。因此解決好此問題很有必要。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種利于定向凝固的散熱平臺。?

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，一種利于定向凝固的散熱平臺：陶瓷石墨結(jié)構(gòu)支撐柱位置平臺四角，有效避開熱均衡器散熱位置，開關(guān)結(jié)構(gòu)位于支撐柱內(nèi)側(cè)，不用額外開孔來避開支撐柱；按照散熱位置的實(shí)際需求對散熱平臺做切削打磨處理，使中心部位散熱加快，周邊呈現(xiàn)蓄熱保溫效果。根據(jù)坩堝底部尺寸對石墨平臺進(jìn)行切削，并使切削后的平臺更加符合晶體垂直生長所需的熱場梯度變化，實(shí)現(xiàn)對晶體生長過程的溫度梯度控制。?

所述散熱平臺中心厚度減薄，平臺中心向外呈現(xiàn)階梯狀(或平滑)增厚。?

所述支撐柱采用專利“一種陶瓷石墨結(jié)構(gòu)的支撐柱”，改變原來三根支撐方式為四角支撐。?

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)：?

一、散熱平臺中心厚度減薄，平臺中心向外呈現(xiàn)階梯狀(或平滑)增厚，以便增加平臺散熱面積，并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量，能夠快遞反映到坩堝底部，以使得中心點(diǎn)散熱較邊緣加快，形成從中心向邊緣散熱的過程，從而使得爐內(nèi)籽晶得到良好的保護(hù)的同時，使得晶體生長過程得到有效控制，晶體生長垂直性得到優(yōu)化?

二、支撐柱采用專利“一種混合材質(zhì)的支撐柱”，改變原來三根支撐方式為四角支撐使得石墨平臺更加容易調(diào)整，并使下部散熱的均衡性得到提高，避開了原設(shè)計(jì)中石墨柱支撐點(diǎn)靠近中心位置，下部開關(guān)設(shè)計(jì)在支撐柱內(nèi)側(cè)既可完成開合及散熱效果，下部保溫處理更加易于處理，從而增加了保溫效果達(dá)到節(jié)能效果。?

附圖說明

圖1、圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3、圖4、圖5、圖6為本實(shí)用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。?

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合結(jié)構(gòu)示意圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。?

圖1、圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1、圖2所示，散熱平臺1為階梯狀分布，其底部1-1經(jīng)切削處理為槽型(或穹頂)結(jié)構(gòu)，上部為石墨構(gòu)件1-2，增加平臺散熱面積，并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量；四角為支撐柱2，使得石墨平臺更加容易調(diào)整，并使下部散熱的均衡性得到提高；在平臺兩邊預(yù)留叉車插入口3，利于鑄錠后的處理工作；。?

圖3、圖4、圖5、圖6為實(shí)用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。?