[實用新型]直驅式納米級精密定位平臺

有效

• 申請號: 201220411967.5
• 申請日: 2012-08-20
• 公開（公告）號: CN202695554U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 陳峰;鄧恩坤
• 申請（專利權）人: 哈爾濱芯明天科技有限公司
• 主分類號: H01L41/09
• 分類號: H01L41/09
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 楊立超

1.一種直驅式納米級精密定位平臺，所述微動臺包括臺體(1)、頂絲(2)、頂塊(3)、封裝式壓電陶瓷(4)、螺釘(5)、柔性鉸鏈(6)和移動板(7)，其特征在于臺體(1)內開有凹槽(1-1)，封裝式壓電陶瓷(4)裝在凹槽(1-1)內，封裝式壓電陶瓷(4)的底座部通過螺釘(5)與臺體(1)固定，封裝式壓電陶瓷(4)的移動端外部套裝頂塊(3)，封裝式壓電陶瓷(4)的移動端及頂塊(3)的一端頂靠在柔性鉸鏈(6)上，頂絲(2)穿過頂塊(3)頂靠在封裝式壓電陶瓷(4)的移動端上，柔性鉸鏈(6)圍成為長方形嵌在臺體(1)內，移動板(7)設在柔性鉸鏈(6)上且二者制成一體。

2.根據權利要求1所述的直驅式納米級精密定位平臺，其特征在于所述移動板(7)上設有多個安裝孔(7-1)，安裝孔(7-1)內設有用于與其他結構連接的連接件。