[實用新型]基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220410427.5
• 申請日: 2012-08-17
• 公開（公告）號: CN202916586U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁海生;李東昇;馬新剛;江忠永;張昊翔;李超
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州士蘭明芯科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，沿光軸方向依次包括：照明光源，與所述照明光源配套的光束整形系統(tǒng)，空間光調(diào)制器，與所述空間光調(diào)制器配套的偏振光學(xué)器件，投影透鏡及晶片支撐架；所述晶片支撐架上固定待曝光的晶片，所述空間光調(diào)制器與所述晶片支撐架關(guān)于所述投影透鏡滿足物像共軛關(guān)系。?

2.如權(quán)利要求1所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述照明光源為汞燈、鹵鎢燈、氙燈、金屬鹵素?zé)艋蚣す庹彰鞴庠础?

3.如權(quán)利要求2所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述激光光源為單個激光器或由多個激光器組合而成的激光器。?

4.如權(quán)利要求3所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器為可見光激光器或不可見光激光器。?

5.如權(quán)利要求3所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器為固體激光器、氣體激光器或半導(dǎo)體激光器中的一種或其組合。?

6.如權(quán)利要求2所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形系統(tǒng)為積分方棒和成像透鏡的組合，或雙排復(fù)眼透鏡和成像透鏡的組合。?

7.如權(quán)利要求6所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述積分方棒為實心或空心的。?

8.如權(quán)利要求7所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述積分方棒為空心的，由四塊鍍有寬帶反射介質(zhì)膜的平板玻璃粘合而成。?

9.如權(quán)利要求6所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述雙排復(fù)眼透鏡由兩個完全相同的復(fù)眼透鏡組成，每個復(fù)眼透鏡都是由一系列結(jié)構(gòu)相同的矩形小透鏡拼接而成的透鏡陣列。?

10.如權(quán)利要求9所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述雙排復(fù)眼透鏡的兩個復(fù)眼透鏡之間的距離等于每個矩形小透鏡的焦距。?

11.如權(quán)利要求6所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述成像透鏡具有成像功能，用于將所述積分方棒的沿光軸方向的后端面或雙排復(fù)眼透鏡中沿光軸方向的前排復(fù)眼透鏡按比例成像到所述空間光調(diào)制器上。?

12.如權(quán)利要求2所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述照明光源為激光照明光源，所述光束整形系統(tǒng)包括擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)、光束整形器件和傅立葉變換透鏡。?

13.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)包括一個消球差雙凹透鏡和一個凸透鏡，其中所述凸透鏡的前焦點(diǎn)和消球差雙凹透鏡的前焦點(diǎn)重合。?

14.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述凸透鏡為雙凸透鏡或平凸透鏡。?

15.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形器件為純相位衍射型光學(xué)器件。?

16.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述傅立葉變換透鏡為具有傅立葉變換功能的消色差的雙膠合透鏡。?

17.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述空間光調(diào)制器為液晶空間光調(diào)制器。?

18.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述空間光調(diào)制器為液晶空間光調(diào)制器，所述偏振光學(xué)器件為粘貼在所述液晶空間光調(diào)制器沿光軸方向前后兩側(cè)的透振方向相互垂直的兩個偏振片，其中前面的偏振片起到起偏作用，后面的偏振片起到檢偏作用。?

19.如權(quán)利要求12所述的基于空間光調(diào)制器的無掩膜圖形曝光系統(tǒng)，其特征在于，所述空間光調(diào)制器為硅基液晶空間光調(diào)制器，所述偏振光學(xué)器件是偏振分束鏡，所述偏振分束鏡為由兩塊直角棱鏡中間夾一層偏振分束膜粘合而成，其中所述偏振分束膜對入射光波具有起偏作用，對出射光波具有檢偏作用。?