[實(shí)用新型]單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220407201.X
• 申請日: 2012-08-17
• 公開（公告）號: CN202865389U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李杰;陸曉陽
• 申請（專利權(quán)）人: 德陽瑞能電力科技有限公司
• 主分類號: C30B13/28
• 分類號: C30B13/28
• 代理公司: 成都蓉信三星專利事務(wù)所 51106
• 代理人: 劉克勤

1.?一種單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，包括：

上軸旋轉(zhuǎn)速度檢測裝置，用于檢測上軸旋轉(zhuǎn)速度；

上軸送料速度檢測裝置，用于檢測上軸位移速度；

下軸旋轉(zhuǎn)速度檢測裝置，用于檢測下軸旋轉(zhuǎn)速度；

下軸拉伸速度檢測裝置，用于檢測下軸位移速度；

爐膛溫度檢測裝置，用于檢測爐膛溫度；

爐膛氣壓檢測裝置，用于檢測爐膛惰性氣體充氣壓力；

數(shù)據(jù)采集模塊，用于將上述檢測裝置獲得的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號；

存儲器，用于存儲信號數(shù)據(jù)、控制參數(shù)設(shè)定值及信號處理計算模型；

中央處理器，用于處理上述檢測信號，輸出控制信號；

控制信號輸出模塊，用于輸出控制信號，將數(shù)字控制信號轉(zhuǎn)換成模擬信號；

上軸旋轉(zhuǎn)速度控制器，用于控制上軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的速度；

上軸送料速度控制器，用于控制上軸送料電機(jī)的速度；

下軸旋轉(zhuǎn)速度控制器，用于控制下軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的速度；

下軸拉伸速度控制器，用于控制下軸拉伸電機(jī)的速度；

爐膛溫度控制器，用于控制感應(yīng)加熱器的功率；

爐膛氣壓控制器，用于控制惰性氣體的充氣壓力；

所述中央處理器將上軸旋轉(zhuǎn)速度信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向上軸旋轉(zhuǎn)速度控制器輸出控制信號，控制上軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的速度；將上軸送料速度信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向上軸送料速度控制器輸出控制信號，控制上軸送料電機(jī)的速度；將下軸旋轉(zhuǎn)速度信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向下軸旋轉(zhuǎn)速度控制器輸出控制信號，控制下軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的速度；將下軸拉伸速度信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向下軸拉伸速度控制器輸出控制信號，控制下軸拉伸電機(jī)的速度；將爐膛溫度信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向爐膛溫度控制器輸出控制信號，控制感應(yīng)加熱器的功率；將爐膛氣壓信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向爐膛氣壓控制器輸出控制信號，控制惰性氣體充氣閥的開度。

2.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)還包括下軸滑座行程檢測裝置、下軸滑座行程控制器，所述中央處理器將下軸滑座行程信號數(shù)據(jù)與其設(shè)定值進(jìn)行比較，向下軸滑座行程控制器輸出控制信號，控制下軸快速升降電機(jī)的啟、停。

3.如權(quán)利要求2所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，所述下軸滑座行程檢測裝置采用磁電感應(yīng)檢測元件。

4.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，所述各電機(jī)與其驅(qū)動對象之間配有蝸輪蝸桿傳動副，電機(jī)輸出軸通過聯(lián)軸器與蝸桿聯(lián)接，該聯(lián)軸器采用柔性聯(lián)軸器。

5.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，所述上軸配有快速升降電機(jī)及其蝸輪蝸桿傳動副。

6.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)的各種信號線路均采用屏蔽電纜。

7.如權(quán)利要求6所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，所述屏蔽電纜的兩端配有磁環(huán)。

8.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)還配有觸摸屏，用于控制參數(shù)設(shè)定值、計算模型錄入操作及顯示操作界面。

9.如權(quán)利要求1所述的單晶硅區(qū)熔拉伸爐控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)還配有手動開關(guān)，用于故障時緊急停機(jī)。