[實用新型]石墨舟陶瓷圈

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220405093.2
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN202786421U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳建洪
• 申請（專利權(quán)）人: 常州市立新石墨有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C30B25/12
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 金輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種陶瓷圈，特別涉及一種石墨舟陶瓷圈。

背景技術(shù)

太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經(jīng)過一定的條件產(chǎn)生化學(xué)反映，在硅片表面鍍上一層膜。

石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率，現(xiàn)有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為：將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數(shù)量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備的墻體內(nèi)，采用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。

石墨舟上固定有不同數(shù)量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷桿穿套起來的，石墨舟片之間依靠同樣穿套在陶瓷桿上的陶瓷圈控制距離。石墨舟在使用一定次數(shù)后，石墨舟上各部分表面上會被鍍上一層氮化硅，此時需要采用適當濃度的氫氟酸來清洗石墨舟，再用清水清洗，現(xiàn)有石墨舟陶瓷圈上沒有排水的通道，使得氫氟酸不能有效排除，殘留的氫氟酸加速了陶瓷圈的腐蝕速度，工業(yè)生產(chǎn)中需經(jīng)常更換陶瓷圈。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種具有導(dǎo)流槽能有效排除氫氟酸的陶瓷圈。

實現(xiàn)本實用新型目的技術(shù)方案是：一種石墨舟陶瓷圈，其為圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，包括外圓周，內(nèi)圓周，在外圓周上開設(shè)有導(dǎo)流槽。

上述石墨舟陶瓷桿，所述導(dǎo)流槽為沿軸向水平開設(shè)。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述導(dǎo)流槽數(shù)量為一條以上。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述導(dǎo)流槽數(shù)量為一條。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述導(dǎo)流槽數(shù)量為兩條。

本實用新型具有積極的效果：（1）結(jié)構(gòu)簡單，實用；（2）開設(shè)導(dǎo)流槽能有效的使氫氟酸引流出去，能有效延長陶瓷圈的壽命。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型為一條導(dǎo)流槽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型為兩條導(dǎo)流槽的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1外圓周面，2內(nèi)圓周面，3導(dǎo)流槽。

具體實施方式

實施例（1）

見圖1，本實用新型石墨舟陶瓷圈，其為圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，包括外圓周面1，內(nèi)圓周面2，在外圓周面2上開設(shè)有導(dǎo)流槽3。使用時，清洗完石墨舟后，殘留的氫氟酸會順著導(dǎo)流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速從導(dǎo)流槽3中流出，再進行清洗的后續(xù)步驟。

實施例（2）

見圖2石墨舟陶瓷圈，其為圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，包括外圓周面1，內(nèi)圓周面2，在外圓周面2上開設(shè)有2條導(dǎo)流槽3，。使用時，清洗完石墨舟后，殘留的氫氟酸會順著導(dǎo)流槽流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速從導(dǎo)流槽中流出，再進行清洗的后續(xù)步驟。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。