[實用新型]固晶機料盒裝置有效
| 申請號: | 201220404822.2 | 申請日: | 2012-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN202839565U | 公開(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發明(設計)人: | 梁國康;梁國城;唐軍成;盧炳昌 | 申請(專利權)人: | 先進光電器材(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L33/00 |
| 代理公司: | 深圳市博銳專利事務所 44275 | 代理人: | 張明 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 固晶機料 盒裝 | ||
1.一種固晶機料盒裝置,其特征在于,包括左右傳送模組和上下傳送模組;
所述左右傳送模組上沿直線依次設置有入料盒位置、料盒工作位置和出料盒位置,左右傳送模組包括用于將料盒從入料盒位置傳至料盒工作位置的入料爪和用于將料盒從料盒工作位置傳至出料盒位置的出料爪;
所述上下傳送模組包括對應于所述料盒工作位置設置的固定座、可沿固定座升降的升降平臺及固定于固定座上的推片機構;
所述升降平臺的行程最低點位于所述料盒工作位置,用于承載從入料盒位置傳送過來的料盒;所述推片機構包括推桿和推桿驅動裝置,所述推桿由推桿驅動裝置驅動用于將料盒中的基板從料盒中推入固晶工作臺。
2.根據權利要求1所述的固晶機料盒裝置,其特征在于:所述入料爪與出料爪間隔設置于一料爪安裝座上,所述料爪安裝座固定安裝于一帶輪傳送機構的皮帶上。
3.根據權利要求1或2所述的固晶機料盒裝置,其特征在于:所述料盒工作位置處設置有可上下移動的定位器,料盒到達料盒工作位置時,定位器升起給料盒定位。
4.根據權利要求1所述的固晶機料盒裝置,其特征在于:所述升降平臺上還設置有用于夾緊料盒的壓緊機構。
5.根據權利要求1所述的固晶機料盒裝置,其特征在于:所述推桿設置為兩根,且兩根并列設置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





