[實用新型]石墨舟

有效

• 申請號: 201220404149.2
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN202796886U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 吳建洪
• 申請（專利權）人: 常州市立新石墨有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 金輝

技術領域

本實用新型涉及一種石墨舟。

背景技術

太陽能硅片的生產加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經過一定的條件產生化學反映，在硅片表面鍍上一層膜。

石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結構和大小直接影響硅片的轉換效率和生產效率，現有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為：將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備的墻體內，采用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。

現有的石墨舟舟片之間間距小，鍍成的硅片膜的顏色深淺不一，致使硅片的太陽能轉化效率不一，質量受到影響。

實用新型內容

本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種能夠使硅片的鍍膜均勻、太陽能轉化效率高的石墨舟片。

實現本實用新型目的技術方案是：一種石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷桿、石墨舟工藝釘，石墨舟片的數量為兩片或兩片以上，所述石墨舟片之間的間距為15mm。

上述石墨舟，所述石墨舟片串聯在陶瓷桿上。

上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之間均夾有一個陶瓷圈來控制舟片之間的距離。

上述石墨舟，所述陶瓷圈串聯在陶瓷桿上。

本實用新型具有積極的效果：（1）結構簡單；（2）合理的石墨舟片的間距，使得硅片的鍍膜均勻，提高硅片的品質、提高太陽能轉化效率高。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型結構示意圖。圖2為本實用新型的局部放大圖。

其中：1石墨舟片，2陶瓷桿，3石墨舟工藝釘，4陶瓷圈。

具體實施方式

實施例（1）

見圖1，本實用新型具有石墨舟片1、位于石墨舟上部串聯石墨舟片1的陶瓷桿2、固定在石墨舟片上的工藝釘3，石墨舟片1的數量為19片，石墨舟片1之間的間距為15mm，每片石墨舟片1之間均夾有一個陶瓷圈4來控制舟片之間的距離，石墨舟片1串聯在陶瓷桿2上。陶瓷圈4串聯在陶瓷桿2上，石墨舟片1之間。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。