[實用新型]化學品自動排氣泡系統

有效

• 申請號: 201220399945.1
• 申請日: 2012-08-14
• 公開（公告）號: CN202691599U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 趙佩英
• 申請（專利權）人: 蘇州和覽電子科技有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

技術領域

本實用新型涉及化學液劑供應系統，尤其涉及一種利用液體偵測及外界施壓的化學品自動排氣泡系統。

背景技術

隨著集成電路技術的飛速發展，芯片集成度在不斷提高，芯片面積在不斷縮小，由此對集成電路制造工藝也提出了更高的要求。“蝕刻”作為當前集成電路工序的一個重要環節，其對于集成電路的集成度提高起著重要的作用。在這個過程中，光阻液劑是這道工序必不可少的制備材料，通過光阻的覆蓋、曝光、顯影等步驟完成蝕刻，進而為后續制造工序提供可能。

然而，光阻液劑在使用過程中，必須保證一定的純度，其中不能摻雜有空氣等雜質。在現有技術中，光阻液劑被儲納于光阻瓶中，通過人工來設定排氣泡的時間及控制排氣泡整個過程，由于人工判斷的不穩定性，往往出現在瓶體已經排氣泡完成后，光阻液劑還在繼續從瓶體的排液管端排出的現象，這勢必造成不必要的液劑浪費，且此方式通過人工判斷進液管端的液劑是否用空，不免因認為疏忽，發生光阻瓶后端出液管用空，導致光阻液劑不純的后果，最終給生產帶來不必要的損失。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種可自動偵測并完成排氣泡的化學品自動排氣泡系統。

為實現上述實用新型目的，本實用新型采用的技術方案如下：一種化學品自動排氣泡系統，其包括：

一用于儲存化學品的儲液罐，其一端管路上設置有加壓閥；

一緩沖瓶，其與所述儲液罐相連通，該緩沖瓶上設有與瓶體相連通的進液管、出液管及排液管，其中，在進液管端設置有第一液體偵測器，在排液管端設置有第二液體偵測器及排液閥；

一控制器，其與所述第一、第二偵測器相連接，該控制器根據所述第一、第二液體偵測器的激發狀態來控制所述加壓閥及排液閥的開啟或關閉。

作為本實用新型的進一步改進，所述進液管、排液管設置于所述緩沖瓶的頂部，所述出液管設置于所述緩沖瓶的底部。

作為本實用新型的進一步改進，所述第一液體偵測器設置于所述進液管管體內、或所述緩沖瓶瓶體內。

作為本實用新型的進一步改進，所述排液閥設置于所述第二液體偵測器下方。

作為本實用新型的進一步改進，所述系統還包括與所述控制器相連接的人機界面。

作為本實用新型的進一步改進，所述人機界面包括觸摸屏。

作為本實用新型的進一步改進，所述化學品包括光阻液劑。

與現有技術相比，本實用新型的自動排氣泡系統通過第一液體偵測器偵測化學品的用空狀態，并通過控制器自動開啟排液閥以實現排氣泡動作，并通過第二液體偵測器偵測排氣完成狀態，及時關閉排液閥以避免化學液劑的浪費，化學品的純度較高，且整個過程實現自動控制，避免人為因素所導致的事故。

附圖說明

圖1是本實用新型具體實施方式中化學品自動排氣泡系統的結構示意圖；

圖2是本實用新型具體實施方式中緩沖瓶的結構示意圖；

圖3是本實用新型具體實施方式中緩沖瓶排泡時的狀態示意圖；

圖4是本實用新型具體實施方式中緩沖瓶排泡結束時的狀態示意圖；

圖5是本實用新型具體實施方式中化學品自動排氣方法的流程圖。

具體實施方式

以下將結合附圖所示的具體實施方式對本實用新型進行詳細描述。但這些實施方式并不限制本實用新型，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本實用新型的保護范圍內。

請參圖1所示，其為本實用新型化學品自動排氣泡系統的一具體實施例。本實用新型以一種具有腐蝕性的光阻液劑為例進行描述整個技術方案，當然，本系統也同樣適用于其他各類化學試劑的排氣泡需求。由于本實用新型的技術方案著重對光阻供應管路裝置中的緩沖瓶的改進，因此以下所說明的僅以光阻供應裝置中的緩沖瓶為主，其余與緩沖瓶無關的器件不再贅述。在本實施方式中，所述化學品自動排氣泡系統包括存儲有光阻液劑的儲液罐10、緩沖瓶20、廢液池30、控制器50及人機界面60等，其中，人機界面可包括觸摸屏、鍵盤等形式的輸入/輸出裝置，上述儲液罐10、緩沖瓶20、廢液池30三者順次連通。