[實用新型]一種行星盤

有效

• 申請號: 201220397994.1
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN202839577U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 崔金洪
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/203
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種行星盤，包括圍繞行星盤的軸心排列的多個蒸發盤、設置于每個蒸發盤外側的多個彈簧壓爪以及放置于硅片上的多個蓋板，其特征在于，還包括：中心盤；

所述中心盤設置于所述行星盤的蒸發面上且位于所述蒸發面的軸心處，在所述中心盤的外側設置有用于壓住硅片的至少三個彈簧壓爪。

2.如權利要求1所述的行星盤，其特征在于，所述中心盤附著于所述蒸發面的軸心區域，且為圓形或環形。

3.如權利要求2所述的行星盤，其特征在于，所述中心盤與所述軸心區域的附著方式為焊接、螺栓連接或粘接。

4.如權利要求2所述的行星盤，其特征在于，所述中心盤為圓形，其直徑與硅片的直徑相等。

5.如權利要求2所述的行星盤，其特征在于，所述中心盤為環形，其外環直徑與硅片的直徑相等。

6.如權利要求1至5中任一項權利要求所述的行星盤，其特征在于，所述中心盤采用鋁、鐵或不銹鋼。

7.如權利要求1所述的行星盤，其特征在于，所述蒸發盤的形狀為圓形。

8.如權利要求1所述的行星盤，其特征在于，所述蓋板為鋁板、鐵板或不銹鋼板。