[實(shí)用新型]一種三氯氫硅合成系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220397668.0
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN202785673U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬燁;嚴(yán)大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌
• 申請（專利權(quán)）人: 中國恩菲工程技術(shù)有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

1.一種三氯氫硅合成系統(tǒng)，所述合成系統(tǒng)包括三氯氫硅合成裝置和尾氣處理設(shè)備，所述尾氣處理設(shè)備將來自所述三氯氫硅合成裝置的合成尾氣進(jìn)行尾氣處理，所述尾氣處理設(shè)備包括依次連接的沉降裝置、氣體過濾裝置、冷凝器以及吸附塔，其中，

所述氣體過濾裝置內(nèi)設(shè)有陶瓷濾芯，且所述氣體過濾裝置用于將來自所述沉降裝置的合成尾氣進(jìn)行過濾后輸送給所述冷凝器，

所述冷凝器用于將過濾后的合成尾氣分離為液體的氯硅烷與氣態(tài)的氫氣和氯化氫，

所述吸附塔用于吸附氣態(tài)的氯化氫，以得到氫氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體過濾裝置包括從上至下依次連接的上封頭、直筒部和下封頭，其中，

所述過濾裝置的上部設(shè)有用于排出過濾后的氣體的出氣口且下部設(shè)有用于排出廢渣的排渣口，

所述直筒部的下部設(shè)有用于向所述直筒內(nèi)導(dǎo)入待過濾氣體的進(jìn)氣口，且所述進(jìn)氣口的上方設(shè)有過濾部，所述過濾部包括設(shè)有通孔的花盤以及設(shè)在所述通孔中的陶瓷濾芯，

所述用于處理三氯氫硅合成尾氣的氣體過濾裝置還包括：

換熱夾套，所述換熱夾套設(shè)在所述直筒部的外部，所述換熱夾套的下部設(shè)有換熱介質(zhì)進(jìn)口且上部設(shè)有換熱介質(zhì)出口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述通孔為多個，所述多個通孔沿所述花盤的徑向和軸向均勻分布，每個所述通孔內(nèi)均設(shè)有所述陶瓷濾芯。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述通孔和所述陶瓷濾芯的個數(shù)被設(shè)置成能夠?qū)⑺鰵怏w的流速控制在0.01～0.2m/s。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述陶瓷濾芯通過緊固件固定在所述花盤上，所述緊固件包括固定環(huán)和壓蓋，所述固定環(huán)焊接在所述花盤上且所述固定環(huán)的內(nèi)孔與所述通孔相對應(yīng)，所述壓蓋扣接在所述陶瓷濾芯的頂端且與所述固定環(huán)相連接以將所述陶瓷濾芯固定在所述通孔內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述陶瓷濾芯為氧化鋁濾芯。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述氧化鋁濾芯的過濾精度為800～1500目。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述直筒部內(nèi)還設(shè)有進(jìn)氣環(huán)管和折流板，所述進(jìn)氣環(huán)管與所述進(jìn)氣口相連接，所述折流板位于所述陶瓷濾芯與所述進(jìn)氣環(huán)管之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣環(huán)管上均勻地間隔設(shè)有多個出口，且所述折流板有多個，所述多個折流板沿所述直筒部的內(nèi)壁螺旋上升且在所述直筒部的圓周方向上均勻分布。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述直筒部上設(shè)有檢修口，所述檢修口位于所述過濾部的上方。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成系統(tǒng)，其特征在于，所述出氣口設(shè)在所述上封頭的頂端且所述排渣口設(shè)在所述下封頭的底端。