[實用新型]一種三氯氫硅合成系統

有效

• 申請號: 201220397668.0
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN202785673U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 萬燁;嚴大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

1.一種三氯氫硅合成系統，所述合成系統包括三氯氫硅合成裝置和尾氣處理設備，所述尾氣處理設備將來自所述三氯氫硅合成裝置的合成尾氣進行尾氣處理，所述尾氣處理設備包括依次連接的沉降裝置、氣體過濾裝置、冷凝器以及吸附塔，其中，

所述氣體過濾裝置內設有陶瓷濾芯，且所述氣體過濾裝置用于將來自所述沉降裝置的合成尾氣進行過濾后輸送給所述冷凝器，

所述冷凝器用于將過濾后的合成尾氣分離為液體的氯硅烷與氣態的氫氣和氯化氫，

所述吸附塔用于吸附氣態的氯化氫，以得到氫氣。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述氣體過濾裝置包括從上至下依次連接的上封頭、直筒部和下封頭，其中，

所述過濾裝置的上部設有用于排出過濾后的氣體的出氣口且下部設有用于排出廢渣的排渣口，

所述直筒部的下部設有用于向所述直筒內導入待過濾氣體的進氣口，且所述進氣口的上方設有過濾部，所述過濾部包括設有通孔的花盤以及設在所述通孔中的陶瓷濾芯，

所述用于處理三氯氫硅合成尾氣的氣體過濾裝置還包括：

換熱夾套，所述換熱夾套設在所述直筒部的外部，所述換熱夾套的下部設有換熱介質進口且上部設有換熱介質出口。

3.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述通孔為多個，所述多個通孔沿所述花盤的徑向和軸向均勻分布，每個所述通孔內均設有所述陶瓷濾芯。

4.根據權利要求3所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述通孔和所述陶瓷濾芯的個數被設置成能夠將所述氣體的流速控制在0.01～0.2m/s。

5.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述陶瓷濾芯通過緊固件固定在所述花盤上，所述緊固件包括固定環和壓蓋，所述固定環焊接在所述花盤上且所述固定環的內孔與所述通孔相對應，所述壓蓋扣接在所述陶瓷濾芯的頂端且與所述固定環相連接以將所述陶瓷濾芯固定在所述通孔內。

6.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述陶瓷濾芯為氧化鋁濾芯。

7.根據權利要求6所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述氧化鋁濾芯的過濾精度為800～1500目。

8.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述直筒部內還設有進氣環管和折流板，所述進氣環管與所述進氣口相連接，所述折流板位于所述陶瓷濾芯與所述進氣環管之間。

9.根據權利要求8所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述進氣環管上均勻地間隔設有多個出口，且所述折流板有多個，所述多個折流板沿所述直筒部的內壁螺旋上升且在所述直筒部的圓周方向上均勻分布。

10.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述直筒部上設有檢修口，所述檢修口位于所述過濾部的上方。

11.根據權利要求2所述的三氯氫硅合成系統，其特征在于，所述出氣口設在所述上封頭的頂端且所述排渣口設在所述下封頭的底端。