[實用新型]直拉法單晶爐熱場結構

有效

• 申請號: 201220396724.9
• 申請日: 2012-08-06
• 公開（公告）號: CN202730297U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 馮銀輝
• 申請（專利權）人: 深圳市石金科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

1.一種直拉法單晶爐熱場結構，包括：爐體、位于爐體內的坩堝、位于爐體內及坩堝外的保溫筒、位于坩堝外及保溫筒中部之間的加熱器以及位于保溫筒內及坩堝之上的導流筒，其特征在于，所述導流筒包括內導流筒及套在所述內導流筒外的外導流筒；所述保溫筒包括上保溫筒、中保溫筒及下保溫筒；所述上保溫筒上設有上保溫蓋，所述上保溫蓋與外導流筒的開口邊緣連接；所述中保溫筒上設有中保溫蓋，所述中保溫蓋和上保溫筒之間設置排氣口裝置。

2.根據權利要求1所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述排氣口裝置包括上保溫筒定位環、支撐環、定位柱、第一擋氣環和第二擋氣環，第一擋氣環和第二擋氣環由上置下依次設置在中保溫蓋上方，支撐環套設在第一擋氣環的上端周側，上保溫筒定位環設置于上保溫筒與支撐環之間且位于第二擋氣環外側；所述上保溫筒定位環和支撐環之間通過定位柱撐開。

3.根據權利要求1所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述加熱器的側壁與保溫筒的側壁平行；所述導流筒之上設有封氣環，所述封氣環上設有壓環。

4.根據權利要求1所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，還包括若干支撐柱，連接在所述保溫筒底部與爐體底部之間，用于支撐保溫筒；所述支撐柱截面形狀至少為以下之一：圓形、四邊形或四邊以上的多邊形。

5.根據權利要求1所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，還包括托桿軸，設置在所述坩堝的下方，所述托桿軸與爐體的轉動機構連接，在拉晶時，帶動坩堝及坩堝內的硅料轉動。

6.根據權利要求5所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述坩堝底部依次設有坩堝托盤和與坩堝托盤固定連接的托盤基座，所述托盤基座與托桿軸通過托桿螺栓緊固；所述托桿軸通過所述坩堝托盤和托盤基座與坩堝底部固定連接。

7.根據權利要求6所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述托桿軸外側套設有托桿軸護套和擋料罩，所述擋料罩位于所述托桿軸護套的上方。

8.根據權利要求3所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述內導流筒和外導流筒的開口邊緣之間由內至外分別設置有導流筒定位環和導流筒護環；所述導流筒護環的上端連接所述封氣環的內側邊。

9.根據權利要求2所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述保溫筒外側及底部均設有軟氈；所述保溫筒的下保溫筒底部的軟氈之上設有爐底壓板；所述爐底壓板上設有電極，所述電極通過電極螺栓與所述加熱器導電連接；所述定位柱截面形狀至少為以下之一：圓形、四邊形或四邊以上的多邊形?；所述定位柱為2個或以上。

10.根據權利要求9所述的直拉法單晶爐熱場結構，其特征在于，所述電極外側由內至外依次罩設有電極絕緣護套和電極護套。