[實(shí)用新型]一種激光褪火設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220396429.3
• 申請(qǐng)日: 2012-08-06
• 公開（公告）號(hào): CN202684325U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈奇雨;陳旭;郭建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/067
• 分類號(hào): B23K26/067;H01L21/268
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種激光褪火設(shè)備，其特征在于，包括：

放置玻璃基板的載臺(tái)；

位于所述載臺(tái)上方的，用于發(fā)射激光光束的光源；

設(shè)置于所述光源的出射光線行進(jìn)方向上的第一光學(xué)模塊；所述第一光學(xué)模塊用于將所述光源發(fā)射的激光光束改變?yōu)橄蛳碌拿嫦蛩鲚d臺(tái)的第一激光光束，和射向位于所述第一光學(xué)模塊一側(cè)的第二光學(xué)模塊的第二激光光束；

設(shè)置于所述第二激光光束行進(jìn)方向上的所述第二光學(xué)模塊至少有一個(gè)，所述第二光學(xué)模塊用于將所述第二激光光束改變?yōu)橹辽儆幸皇蛳碌拿嫦蛩鲚d臺(tái)的第三激光光束；移動(dòng)照射所述載臺(tái)時(shí)，所述第三激光光束的照射范圍與所述第一激光光束的照射范圍不同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火設(shè)備，其特征在于，移動(dòng)照射所述載臺(tái)時(shí)，所述第三激光光束的照射范圍與所述第一激光光束的照射范圍部分重合，所述第三激光光束的照射范圍的寬度與所述第一激光光束的照射范圍的寬度之和大于所述第一激光光束的照射范圍的寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火設(shè)備，其特征在于，移動(dòng)照射所述載臺(tái)時(shí)，所述第三激光光束的照射范圍與所述第一激光光束的照射范圍無(wú)縫相接，所述第三激光光束的照射范圍的寬度與所述第一激光光束的照射范圍的寬度之和等于所述第一激光光束的照射范圍的寬度的兩倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述第一光學(xué)模塊為直角指向所述載臺(tái)的倒置的直角三棱鏡，其中，所述直角三棱鏡的第一直角面將所述光源發(fā)射的激光光束反射為豎直向下的面向所述載臺(tái)第一激光光束；所述直角三棱鏡的第二直角面將進(jìn)入所述直角三棱鏡的激光光束折射為平行于所述載臺(tái)出射的第二激光光束。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述第二光學(xué)模塊為一個(gè)；

所述第二光學(xué)模塊包括具有第一反射面的第一光學(xué)子模塊，和具有相互垂直的第二反射面、第三反射面的第二光學(xué)子模塊；所述第二光學(xué)子模塊位于所述第一光學(xué)子模塊上方；

所述第一反射面將平行于所述載臺(tái)的所述第二激光光束反射為垂直向上的射向所述第二反射面的第四激光光束，所述第四激光光束經(jīng)所述第二反射面、所述第三反射面反射后成為向下的面向所述載臺(tái)的所述第三激光光束。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述第一光學(xué)子模塊為全反射面；

和/或，

所述第二光學(xué)子模塊為相互垂直，且反射面相對(duì)的兩個(gè)全反射面。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述第一光學(xué)子模塊為具有斜面的棱鏡；

和/或，

所述第二光學(xué)子模塊為直角三棱鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述直角三棱鏡中所述第一直角面的寬度為300mm到350mm，所述第二直角面寬度為300mm到350mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光褪火設(shè)備，其特征在于，

所述第一光學(xué)子模塊的所述第一反射面的寬度為300mm到350mm，所述第二光學(xué)子模塊的所述第二反射面的寬度為300mm到350mm，所述第二光學(xué)子模塊的所述第三反射面的寬度為300mm到350mm。