[實用新型]銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置

有效

• 申請號: 201220395986.3
• 申請日: 2012-08-11
• 公開（公告）號: CN202734470U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 季達;儲新建
• 申請（專利權）人: 南通華達微電子集團有限公司
• 主分類號: F26B21/10
• 分類號: F26B21/10;B29C65/52;B05D3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，含有主抽風管道（6）、付抽風管道（11）、微壓測量表（13）、烘箱（2）及其內部能放置的待膠接零件、焊接或者膠接用銀漿，主抽風管道出風口（7）連接有抽風機，烘箱（2）連接有N2氣源（1）作為烘箱（2）中的惰性保護氣體，其特征在于：

還含有下列組成部件：氣動式自動風門（5）、手動負壓調節閥（8）、手動正壓調節閥（10）、微壓測量表（13）、溫度傳感器（3）、自控裝置（4）；

烘箱（2）連接著主抽風管道入風口（14）；主抽風管道（6）上連接付抽風管道入風口（12）、付抽風管道出風口（9）；

在主抽風管道（6）中，付抽風管道入風口（12）與付抽風管道出風口（9）之間設置有氣動式自動風門（5），能夠根據烘箱（2）中氣體的溫度控制氣動式自動風門（5）的開關；付抽風管道出風口（9）與主抽風管道出風口（7）之間設置有手動正壓調節閥（10），能夠根據微壓測量表（13）顯示的氣體壓力手動控制其風門的開關；

在付抽風管道（11）中，設置有手動負壓調節閥（8），能夠根據微壓測量表（13）顯示的氣體壓力手動控制其風門的開關；

溫度傳感器（3）連接在烘箱（2）上，溫度傳感器（3）通過自控裝置（4）連接控制氣動式自動風門（5）。

2.根據權利要求1所述的銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，其特征在于：所述的微壓測量表（13）連接在主抽風管道（6）上或者烘箱（2）上；連接于主抽風管道（6）上時，連接在主抽風管道入風口（14）與付抽風管道入風口（12）之間。

3.根據權利要求1所述的銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，其特征在于：所述的手動正壓調節閥（10）或手動負壓調節閥（8）帶有鎖緊裝置。

4.根據權利要求1所述的銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，其特征在于：所述的付抽風管道（11）的管徑是主抽風管道（6）管徑的1/10-1/2。

5.根據權利要求1或2所述的銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，其特征在于：所述的微壓測量表（13）選用零位在中間的正負壓表。

6.根據權利要求1或2所述的銀漿固化烘箱內氣體壓力控制裝置，其特征在于：所述的烘箱（2）上設置有溫度報警器。