[實(shí)用新型]硅片表面吹干裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220393361.3 | 申請日： | 2012-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN202853306U | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 何智鋒;柴曉燕 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江豐球光伏科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F26B21/00 | 分類號： | F26B21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 311800 *** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 表面 吹干 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片表面吹干裝置，包括帶有吹風(fēng)孔的風(fēng)刀，其特征在于所述風(fēng)刀上連接有驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)可使風(fēng)刀左右移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片表面吹干裝置，其特征在于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)的輸出端設(shè)有絲桿，所述絲桿上設(shè)螺母，所述風(fēng)刀一端設(shè)有連接套，所述連接套與螺母相連接。
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