[實用新型]一種多槽循環硅片清洗機

有效

• 申請號: 201220390026.8
• 申請日: 2012-08-08
• 公開（公告）號: CN202823983U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 顏頡頏;賈永前;張欣
• 申請（專利權）人: 晶海洋半導體材料（東海）有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 李海波;侯莉

技術領域

本實用新型涉及一種硅片清洗機，特別涉及一種多槽循環硅片清洗機。

背景技術

在硅片的生產工藝中，為了獲得良好品質的硅片，要求附著在硅片表面的雜質量極少，因此，切割后的硅片需要進行清洗。

目前，采用的清洗設備是7槽清洗機，7槽清洗機包括機殼、設置在機殼內的清洗槽、超聲裝置、提供純水的給水管路及排出清洗液的排水管路，清洗槽一般為7個且其功能均固定不變。7槽清洗機在運作時，移載機械手會把裝有硅片的清洗籃依次放入7個清洗槽內進行處理，硅片順次通過漂洗、堿洗（用藥水進行清洗）、漂洗、烘干工序而清洗完畢。

現有的7槽清洗機存在以下缺陷：清洗方式非常有限，7個清洗槽順次排列，其中，3、4槽一般為固定不變的藥槽（對硅片采用藥水進行堿洗），順次排列的7個清洗槽中排列后方的槽體中的水會比前方槽體中的水更為干凈，但是，因為3-4槽配置藥水進行阻隔的緣故，導致了藥液的污染率大大提高，從而使得換藥頻率也隨之提高，因此現有的7槽清洗機對清洗藥水的工藝配置有很大的限制；另外，若清洗槽水滿溢流，只能通過開啟7槽清洗機的溢流裝置將其排出機體外，如此，溢流液無法進行循環利用，導致了清洗槽需要頻繁換水，對水資源造成了極大地浪費，變相地增加了硅片的生產成本。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種方便硅片清洗工序調整和配置、可靈活改變藥槽、節約水資源、能夠保證產品清洗質量且環保的多槽循環硅片清洗機。

本實用新型的目的通過以下的技術措施來實現：一種多槽循環硅片清洗機，包括機殼、設置在機殼內的清洗槽、用于為清洗槽提供純水的給水管路及用于將清洗槽內清洗液排出的排水管路，其特征在于所述清洗槽為至少6個順次排列的槽體，依次主要由至少兩個用于純水清洗或藥水堿洗的雙功能清洗槽、至少兩個用于藥水堿洗的藥洗清洗槽及至少兩個用于純水清洗的水洗清洗槽組成，其中，排序末位的水洗清洗槽為慢提預洗脫水槽，所述雙功能清洗槽中相鄰兩個槽體之間設有連通該槽體而形成雙功能清洗槽逆向順次溢流的溢流管，所述排水管路通過三通閥門與溢流管相連以使溢流液流入下級槽體或者通過排水管路排出實現雙功能清洗槽的純水清洗或者藥水堿洗雙功能。

本實用新型的雙功能清洗槽采用接管溢流的方式并通過三通閥連接排水管路，可實現各槽體之間的溢流或者將溢流液通過排水管路排出，使得雙功能清洗槽既可作為堿洗槽（藥水堿洗），也可作為水洗槽（純水清洗），方便硅片清洗工序調整和配置，并可靈活改變藥槽（藥水堿洗）從而實現清洗工藝的靈活配置，而且，通過溢流方式能夠大大減少用水量，節約水資源，降低成本；本實用新型通過對清洗工藝的調整，可減少藥液污染，保證產品的清洗質量。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述清洗槽為9個，其中，所述雙功能清洗槽是4個，即為第1-4清洗槽，所述藥洗清洗槽是2個，即為第5、6清洗槽，所述水洗清洗槽是3個，即為第7-9清洗槽，所述慢提預洗脫水槽為第9清洗槽。

本實用新型位于所述第1、2清洗槽之間的溢流管為第一溢流管，位于所述第2、3清洗槽之間的溢流管為第二溢流管，位于所述第3、4清洗槽之間的溢流管為第三溢流管，所述第一、二、三溢流管分別具有用于接收溢流液的進水端與用于將溢流液送至下級槽體的出水端，所述進水端連接在上級清洗槽的槽口位置，所述出水端連接在下級清洗槽的槽壁下部，所述第1-4清洗槽的槽口順次增高以實現第1-4清洗槽逆向順次溢流。采用逆向溢流方式，即按照第4-1清洗槽的排序方向順次溢流（按照第1-4清洗槽的排序方向逆向順次溢流）。因為排列在后方的清洗槽中的水比較干凈，所以溢流的方向均為逆向順次溢流，可將比較干凈的水溢流至前方的清洗槽中。

作為本實用新型的一種改進，所述第7-9清洗槽逆向順次溢流，所述多槽循環硅片清洗機還包括用于將第7-9清洗槽內的溢流液輸送至第1-4清洗槽的副槽溢流系統，所述副槽溢流系統主要由連接管路、副槽、進水閥門和泵組成，其中，所述連接管路包括用于引入溢流液的溢流進水管、用于將溢流液排出至排水管路的排水管及用于將溢流液供給所述第1-4清洗槽的出水管，所述溢流進水管連接在所述第7清洗槽與所述副槽之間，所述出水管的進水端連接在副槽槽壁的下部，所述出水管的出水端安裝有出水閥門且分別位于所述第1-4清洗槽的槽口上方，所述進水閥門安裝在所述出水管上并靠近出水管的進水端，所述泵位于所述進水閥門后方的出水管管路上。