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[實用新型]PLC晶圓切割用工裝平臺有效

專利信息
申請號: 201220388286.1 申請日: 2012-08-07
公開(公告)號: CN202805448U 公開(公告)日: 2013-03-20
發明(設計)人: 汪沈炎;陸群;陸春校 申請(專利權)人: 浙江富春江光電科技股份有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 杭州天欣專利事務所 33209 代理人: 王政貴
地址: 311400 浙江*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: plc 切割 用工 平臺
【權利要求書】:

1.一種PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:包括平臺和側邊條,側邊條通過螺釘固定在平臺的側邊,側邊條設置有一基準面,該基準面垂直于平臺上表面。

2.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述平臺的兩側邊均固定有側邊條。

3.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述基準面的直線度為0至0.02mm。

4.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述基準面和平臺的表面之間的垂直度為0至0.02mm。

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