[實用新型]PLC晶圓切割用工裝平臺有效
| 申請號: | 201220388286.1 | 申請日: | 2012-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN202805448U | 公開(公告)日: | 2013-03-20 |
| 發明(設計)人: | 汪沈炎;陸群;陸春校 | 申請(專利權)人: | 浙江富春江光電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 杭州天欣專利事務所 33209 | 代理人: | 王政貴 |
| 地址: | 311400 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | plc 切割 用工 平臺 | ||
【權利要求書】:
1.一種PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:包括平臺和側邊條,側邊條通過螺釘固定在平臺的側邊,側邊條設置有一基準面,該基準面垂直于平臺上表面。
2.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述平臺的兩側邊均固定有側邊條。
3.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述基準面的直線度為0至0.02mm。
4.根據權利要求1所述的PLC晶圓切割用工裝平臺,其特征在于:所述基準面和平臺的表面之間的垂直度為0至0.02mm。
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