[實用新型]單晶棒定向夾緊裝置

有效

• 申請號: 201220386535.3
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202742558U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 金慧
• 申請（專利權）人: 金慧
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種單晶棒夾緊裝置。

背景技術

目前國內所有的半導體晶圓生產廠家，在制成單晶晶棒后，先需經過去頭尾、割斷、滾磨等工序，將整根單晶棒分成長度為300～400mm的短棒，以適應切片機的最大加工長度，然后在切片機上切成晶片。在切割110等晶向晶片時，切片時存在一個2～5度的晶向偏角，也就是要求在一定的晶向下，端面與軸線有2～5度的傾斜。而目前的切斷機割斷時不能偏轉角度，無法切割出這個晶向偏角，這樣會在每段單晶短棒的兩端因為這個晶向偏角產生不完整片而無法利用。按目前常見的6英寸單晶計算，每端的長度達到15mm。按一根晶棒長1200mm計算，切成四根短棒，每根短棒浪費15mm，相當于每根晶棒因晶向偏角原因浪費60mm，這部份的重量達到2.5KG。而一臺割斷機一天的切割量在10根單晶棒以上，由此產生的經濟效益是非常可觀的。

發明內容

為了克服已有單晶棒夾緊裝置的無法切割晶向偏角、材料浪費嚴重、利用率較低的不足，本實用新型提供一種切割時預先切出晶向偏角、避免材料浪費、大大提高單晶的利用率的單晶棒定向夾緊裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種單晶棒定向夾緊裝置，包括底板和夾持架，所述夾持架通過銷軸可擺動地安裝在底板上，調整支承塊固定在底板側面，調整絲桿通過調整支承塊的孔，所述調整絲桿固定在所述調整支承座上，調整手輪固定在調整絲桿的頭部，調整螺母固定在夾持架上，所述調整螺母通過螺紋和所述調整絲桿相連接，所述調整絲桿與所述夾持架固定連接，所述底座上安裝用以指示所述夾持架擺動角度的標尺。

進一步，所述夾持架包括底座、主軸、前卡盤和后卡盤，所述底座上加工有主軸孔，所述主軸孔的前后裝有一對復合軸承，所述主軸安裝于主軸孔內，所述前卡盤和后卡盤分別安裝在主軸前后兩端；用以擋住前卡盤的擋圈固定在底座的前端面，用以擋住前后盤的后擋圈固定在底座的后端面，所述底座后端安裝有鎖緊圈，所述鎖緊圈上加工有通槽，操作手柄與鎖緊手柄聯動，所述鎖緊手柄與鎖緊圈配合，所述鎖緊圈與后擋圈聯動，所述底座底部聯接有調節螺母，所述調節螺母與所述調整絲桿相聯。

再進一步，所述夾緊裝置還包括定向支架，所述定向支架包括定向支座、齒條調整軸、輔助軸、聯接片、固定架和調節齒輪，所述定向支座加工有二個平行導向孔，前后安裝有導向套，所述齒條調整軸和輔助軸穿過導向套并能前后滑移，所述齒條調整軸通過三角把手與定向支座鎖緊，所述齒條調整軸和輔助軸通過聯接片聯接在一起；所述定向支座側面開有安裝孔，所述調節齒輪安裝在定向支座上，所述調節齒輪和齒條調整軸嚙合，所述調節齒輪兩端固定在定向支座上，所述調節齒輪的端部和波形手輪聯動；所述固定架固定在所述齒條調整軸前端，所述固定架通過銷軸與定位板可轉動地連接，所述銷軸固定在固定架上，所述定向支座固定在底板上。

更進一步，所述夾緊裝置還包括輔助支架，所述輔助支架包括輔助架、轉軸和滾輪，所述轉軸通過一對軸承安裝在輔助架上，所述滾輪套在轉軸上，所述軸承用一對悶蓋固定在輔助架上，所述輔助架固定在所述底板上。

本實用新型的有益效果主要表現在：1、改原先的V型鐵夾緊為前后夾盤夾緊，并且前后夾盤能圍繞自身軸線旋轉，整個夾持架可以繞銷軸偏擺。通過晶棒的轉動和偏擺，使得晶棒切斷時就與晶向偏角一致；2、定向支架用于連續切割時，只需調整晶棒，使原先帶晶向偏角端面與定位板對平，即可切割下一根晶棒，減少計算調整時間；3、定位桿伸出長度可調，能滿足不同長度要求晶棒的切割；4、輔助支架在上料時能起到導向和支承作用，減少操作難度和勞動強度。

附圖說明

圖1是單晶棒定向夾緊裝置的立體圖。

圖2是單晶棒定向夾緊裝置的主視圖。

圖3是圖2的俯視圖。

圖4是圖2的左視圖。

圖5是夾持架的結構圖。

圖6是夾持架的半剖圖。

圖7是定向支架的結構圖。

圖8是定向支架的主視圖。

圖9是輔助支架的結構圖。

圖10是輔助支架的半剖圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。