[實用新型]硅晶片堿腐蝕廢液的回收處理系統

有效

• 申請號: 201220383483.4
• 申請日: 2012-08-03
• 公開（公告）號: CN202744628U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 張新華;范瓊;潘加永
• 申請（專利權）人: 庫特勒自動化系統（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C23F1/40
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 朱梅;司麗春

1.一種硅晶片堿腐蝕廢液的回收處理系統，其特征在于，所述系統包括：

固液分離裝置(11)，用于對硅晶片的堿腐蝕廢液進行固液分離從而得到澄清廢液和固體懸浮物；

固體儲存槽(12)，其通過管線與固液分離裝置(11)連接，用于接受分離出來的固體懸浮物；

電解槽，其分為中間室(13)、陰極室(14)和陽極室(15)，其中，中間室(13)通過管線與固液分離裝置(11)連接，用于接收從固液分離裝置(11)分離出的廢液，陰極室(14)中加入稀氫氧化鈉溶液作為電解液，陽極室(15)中加入HF溶液；中間室(13)與陰極室(14)用陽離子交換膜(16)隔開，中間室(13)與陽極室(15)用陰離子交換膜(18)隔開；

后處理裝置，其包括：

與陽極室(15)對應的帶有溢流口的儲存槽(110)，用于接收在陽極室(15)中產生的含六氟硅酸的氫氟酸溶液，所述儲存槽(110)與陽極室(15)通過循環管線相連接，用于使溶液在儲存槽(110)與陽極室(15)之間循環，保持儲存槽(110)與陽極室(15)中的氫氟酸溶液濃度平衡，從而達到氫氟酸的循環再生；

蒸餾裝置(111)，其通過管線連接至儲存槽(110)的溢流口，從而儲存槽(110)中的液體會溢流到蒸餾裝置(111)中；和

冷凝裝置(112)，其通過管線與蒸餾裝置(111)相連，用于導入蒸餾裝置(111)中產生的氟化氫蒸汽并冷凝，其通過管線與儲存槽(110)連接，用于將冷凝后的氟化氫導入儲存槽(110)。

2.根據權利要求1所述的回收處理系統，其特征在于，所述蒸餾裝置(111)通過管線與固體儲存槽(12)相連接，以將在蒸餾裝置(111)中產生的固體二氧化硅通過分離后導入固體儲存槽(12)。

3.根據權利要求1所述的回收處理系統，其特征在于，后處理裝置進一步包括氫氣罐(19)和氧氣罐(17)，分別用于導入陰極室(14)和陽極室(15)產生的氫氣和氧氣。

4.一種硅晶片堿腐蝕廢液的回收處理系統，其特征在于，所述系統包括：

固液分離裝置(21)，其用于對硅晶片的堿腐蝕廢液進行固液分離從而得到澄清廢液和固體懸浮物；

固體儲存槽(22)，其通過管線與固液分離裝置(21)連接，用于接受分離出來的固體懸浮物；

電解槽，其分為陰極室(24)和陽極室(25)，其中，陰極室(24)通過管線與固液分離裝置(21)連接，用于接收從固液分離裝置(21)分離出的廢液，陽極室(25)中加入硫酸溶液；陰極室(24)和陽極室(25)用陰離子交換膜(26)隔開；

其中，陽極室(25)通過管線與固體儲存槽(22)連接，使陽極室(25)中產生的固體偏硅酸通過分離后導入固體儲存槽(22)。

5.根據權利要求4所述的回收處理系統，其特征在于，后處理裝置進一步包括氧氣罐(27)和氫氣罐(28)，分別用于導入陽極室(25)和陰極室(24)產生的氧氣和氫氣。