[實用新型]一種高溫超導薄膜連續雙面涂敷裝置

有效

• 申請號: 201220383227.5
• 申請日: 2012-08-04
• 公開（公告）號: CN202700729U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 蔡傳兵;劉志勇;白傳易;魯玉明
• 申請（專利權）人: 上海上創超導科技有限公司
• 主分類號: B05C3/132
• 分類號: B05C3/132;B05C11/10
• 代理公司: 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113
• 代理人: 張勁風

技術領域

本實用新型涉及超導薄膜涂敷裝置，具體說是一種在金屬帶或其他基帶表面兩側同時實現薄膜連續涂敷的裝置。

背景技術

常用的超導薄膜制備方法包括物理氣相沉積和化學溶液涂層工藝。前者較為成熟，但是需要高真空設備，成本甚高；相比之下，化學法不需要高真空條件，制備成本明顯低于前者，國內外已有不少單位采用化學法成功獲得了第二代高溫超導帶材。在化學法制備超導薄膜的過程中，涂膜是基本組成環節之一，其基本方法主要有旋涂、浸泡、流延涂敷等。這里面旋涂法無法連續成膜；流延涂敷法目前基本上是單側成膜，存在雙側成膜困難的問題。目前普遍使用的化學溶液涂覆方法采用直接的溶液浸泡涂覆。然而這種涂覆需要將溶液完全暴露在環境氣氛中，很容易受到環境濕度的影響，對溶液的穩定性不利。另外，該方法在連續制備長帶時，需要將基帶由導輪下壓至液面，涂層面為一個弧形面，導輪單面接觸基帶，難以實現雙面涂層。而且，由于溶液暴露面大，連續走帶時間長，涂層溶液受外環境的影響較大，存在溶液揮發、不穩定、浪費嚴重等問題；。

發明內容

本實用新型的目的是提供了一種簡便的可實現雙面涂膜的連續的超導薄膜雙面涂敷裝置。主要解決超導薄膜涂膜過程中雙面涂敷、連續化和均勻性等技術難題。使基帶不與涂膜裝置有固體的接觸，也就是基帶只與溶液接觸，并且可以同時實現雙面涂膜。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是：一種連續的超導薄膜雙面涂敷裝置，設置三個腔室，中間的主腔室和兩側的輔助腔室，腔室之間以及腔室與外界之間通過孔或縫連結，基帶直線通過裝置，不與腔室存在固體接觸，并且在通過主腔室的過程中實現雙面涂膜。輔助腔室通過管路連接蠕動泵進口，蠕動泵出口通過管路通入主腔室，形成循環回路。在主腔室的液面始終維持在基帶以上，這一點是通過不斷將流到輔助腔室的溶液通過蠕動泵泵回主腔體中來實現的。本實用新型的有益效果是：實現動態雙面涂膜；裝置不與基帶兩面有固體接觸，減少磨損；涂層面積較大且不需要常規的圓弧涂層面，容易實現多次涂覆；涂層所需溶液得到有效控制，揮發量少，外界氣氛對溶液影響小。

附圖說明

圖1為本實用新型生產流程結構示意圖。

圖中：1-放帶輪，2-導向輪，3-主腔室，4-輔助腔室，5-蠕動泵，6-熱處理爐，7-收帶輪，8-基帶，9-管路。

具體實施方式

如圖1所示，一種連續的超導薄膜雙面涂敷裝置，設置三個腔室，中間的主腔室3和兩側的輔助腔室4，腔室之間以及腔室與外界之間通過孔或縫連結，基帶8直線通過裝置，不與腔體存在固體接觸，并且在通過主腔室的過程中實現雙面涂膜。輔助腔室通過管路9連接蠕動泵5進口，蠕動泵5出口通過管路通入主腔室3，形成循環回路。為本實用新型的雙面涂敷裝置，同時配備熱處理爐6對涂敷成膜進行熱處理，同時配備放帶輪1和收帶輪7以及導向輪2，實現基帶8的動態運行。

基帶8以直線方式，由細縫通過整個涂敷裝置，由于蠕動泵5不斷將兩側輔助腔室4的溶液泵回主腔室3，維持液面高于基帶8，保證基帶8在通過過程中兩側均與溶液接觸，并形成膜層，實現了雙面涂敷的效果。同時該裝置與外部空間是通過細縫相連，因此受外部空間的影響較小，揮發或者吸收外部空間的水汽等很少，有利于保持前驅溶液的穩定性。且基帶8只與溶液接觸，不與涂敷裝置接觸，且涂層面為平面而非常規的圓弧面，這些特點對提高涂層超導薄膜的均勻性、保護膜面質量和涂層效率等非常有益。