[實用新型]蒸發舟及立式蒸發設備

有效

• 申請號: 201220379954.4
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN202705453U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 葉宗鋒;楊順先;劉惠森;楊明生
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種蒸發舟，適于設置在呈真空環境的密封腔體內并對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其特征在于，該基板呈豎直的設置，而所述蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體，所述中空結構形成一端貫穿所述蒸發舟本體一側的密封空腔，所述密封空腔的開口與所述基板相對應，且所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，所述側蒸發出口與所述基板相對應。

2.根據權利要求1所述的蒸發舟，其特征在于，還包括沿豎直方向設置并與所述蒸發舟本體相配合的蒸發舟蓋體，所述蒸發舟蓋體位于所述基板與所述蒸發舟本體之間，且所述蒸發舟蓋體沿豎直方向開設有若干間隔開并與所述基板相對應的蒸發孔，所述盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質穿過所述蒸發孔進而蒸鍍于所述基板上。

3.根據權利要求1或2所述的蒸發舟，其特征在于，所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對應的內壁之間共同形成所有所述側蒸發出口。

4.根據權利要求1所述的蒸發舟，其特征在于，所述蒸發舟還配置有為蒸發材料提供蒸發能量的加熱組件，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發舟本體的遠離所述密封空腔之開口的一側鄰設，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負極電性連接。

5.根據權利要求4所述的蒸發舟，其特征在于，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上。

6.一種立式蒸發設備，適用于對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其特征在于，所述立式蒸發設備包括：

密封腔體，所述密封腔體具有一密封的真空腔，所述基板豎直的設置并位于所述真空腔的一側內；

立式蒸發舟，所述立式蒸發舟位于所述真空腔的另一側內，且所述立式蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體，所述中空結構形成一端貫穿所述蒸發舟本體一側的密封空腔，所述密封空腔的開口與所述基板相對應，且所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，所述側蒸發出口與所述基板相對應；以及

為所述盛放部內的蒸發材料提供蒸發能量的加熱組件，所述加熱組件與所述蒸發舟本體鄰設。

7.根據權利要求6所述的立式蒸發設備，其特征在于，所述立式蒸發舟還包括沿豎直方向設置并與所述蒸發舟本體相配合的蒸發舟蓋體，所述蒸發舟蓋體位于所述基板與所述蒸發舟本體之間，且所述蒸發舟蓋體沿豎直方向開設有若干間隔開并與所述基板相對應的蒸發孔，所述盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質穿過所述蒸發孔進而蒸鍍于所述基板上。

8.根據權利要求6或7所述的立式蒸發設備，其特征在于，所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對應的內壁之間共同形成所有所述側蒸發出口。

9.根據權利要求6所述的立式蒸發設備，其特征在于，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發舟本體的遠離所述密封空腔之開口的一側鄰設，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負極電性連接。

10.根據權利要求9所述的立式蒸發設備，其特征在于，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上。