[實用新型]用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220378703.4
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202781470U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李昆;亢若谷;馬啟坤;王云坤;史冰川;和金生;呂維基;羅以順;段鑫;黃磊
• 申請（專利權(quán)）人: 昆明冶研新材料股份有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備，其特征在于專用切割設(shè)備的加工物件平臺底部開有排水口（1），加工物件平臺上部一端裝有兩組四個金剛石刀架（12、13、14、15）及一個放置于四個金剛石刀架的上部且能隨刀架移動而自由伸縮的伸縮防護罩（16），每個金剛石刀架（12、13、14、15）上各裝一組9-11片金剛石外圓切割片，其中第一組兩個金剛石刀架（12、13）安裝的兩組金剛石外圓切割片由第1號切割電機（17）提供動力，第二組兩個金剛石刀架（14、15）安裝的兩組金剛石外圓切割片由第2號切割電機（18）提供動力，二組金剛石刀架均由一臺傳動電機（21）實現(xiàn)前進和后退功能，每個金剛石刀架（12、13、14、15）配裝一個冷卻液噴淋管（19），整根待切割加工硅棒料放置在固定擋板（20）、1～3個硅棒支撐塊（7）及可移動擋板組成的硅棒支座上，排水口（1）及冷卻液噴淋管（19）通過管道與廢液循環(huán)處理器（6）連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯的專用切割設(shè)備，其特征在于：所用的金剛石外圓切割片為鋼基材料帶金剛石刀頭，可是燒結(jié)金剛石切割片、焊接金剛石切割片或電鍍金剛石切割片任意一種金剛石切割片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備，其特征在于：所述的硅棒料是通過任何一種方法制備而成的任意一種多晶硅原料棒，包括多晶直拉棒、單晶直拉棒或多晶沉積棒。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備，其特征在于：所述的可移動擋板（2、3、4、5）及硅棒支撐塊（7）安裝在專用切割設(shè)備的加工物件平臺上，每個可移動擋板（2、3、4、5）及硅棒支撐塊（7）能沿平臺上部的導(dǎo)軌移動位置左右移動固定，固定擋板（20）安裝在專用切割設(shè)備的加工物件平臺上，位置固定不變，冷卻液噴淋管（19）的出水口安裝在金剛石外圓切割片上方，每個金剛石外圓切割片對應(yīng)1個出水口。