[實用新型]一種換熱套

有效

• 申請號: 201220378472.7
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN202688447U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 李占良;陳濤
• 申請（專利權）人: 六九硅業有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及化學氣相沉積領域，特別是涉及一種用于化學氣相沉積的換熱套。

背景技術

化學氣相沉積是反應物質在氣態條件下發生化學反應，生成固態物質沉積在加熱的固態基體表面，進而制得固體材料的工藝技術。化學氣相沉積法廣泛應用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。

在化學沉積過程中往往伴隨著劇烈的吸熱過程或者放熱過程，因此需要在沉積底表面四周設置熱交換裝置用于加熱或降溫。由于所用熱交換裝置多為空心套狀，所以又稱為換熱套。

換熱套的熱交換回路是指換熱套內的熱載體以一定的路線流動并在系統中形成循環的路徑。常見換熱套中的熱交換回路通常為單導程螺旋線型式，即在換熱套的腔體內增設螺旋型限流板，用以延長熱載體的運行路線；工作時，熱載體從換熱套的一端進入，另一端流出，從而導致換熱套的兩端溫差大，換熱套圓周向的溫度分布不均，致使沉積底表面熱交換效果不一致，使得沉積底表面熱場分布不均勻，進而導致氣相沉積反應不能均勻進行。

因此，如何改進換熱套以降低工作過程中換熱套兩端的溫差，使換熱套圓周向的溫度分布均勻，從而使沉積底表面熱場分布均勻，氣相沉積反應能夠均勻進行，是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種換熱套，該換熱套在工作時可以降低兩端的溫差，使換熱套圓周向溫度分布均勻，從而保證沉積底表面熱場分布均勻，氣相沉積反應可以均勻進行。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種換熱套，包括外殼和內殼形成的套管以及設置在所述套管兩端的上端蓋和下端蓋，所述套管的夾層內設有至少一個限流板和至少一個隔板；所述隔板將所述夾層隔開，所述限流板的一端與所述下端蓋連接，另一端與所述上端蓋保持預定的距離；所述限流板和所述隔板將所述夾層分隔為兩個連通的導程，所述下端蓋上設有位于所述限流板兩側的進口和出口。

優選地，所述限流板和所述隔板分別設置在所述夾層的直徑兩端。

優選地，所述換熱套具有多個限流板和對應的多個隔板，所述隔板沿所述套管的周向均勻設置在其夾層內，并將所述夾層分為多個腔室，所述限流板將所述腔室分隔為兩個連通的導程，每個腔室對應的下端蓋上分別設有位于所述限流板兩側的進口和出口。

優選地，所述隔板為直線型隔板，所述限流板為直線型限流板。

優選地，所述限流板、所述隔板與所述內殼焊接固定。

優選地，所述外殼的硬度小于所述限流板和所述隔板的硬度。

優選地，所述外殼內壁設有與所述限流板、所述隔板配合的凹槽。

優選地，所述外殼與所述限流板、所述隔板過盈配合。

優選地，所述換熱套內的熱載體為有機油類。

相對上述背景技術，本實用新型所提供的換熱套包括外殼和內殼形成的套管以及設置在所述套管兩端的上端蓋和下端蓋，所述套管的夾層內設有至少一個限流板和至少一個隔板；所述隔板將所述夾層隔開，所述限流板的一端與所述下端蓋連接，另一端與所述上端蓋保持預定的距離；所述限流板和所述隔板將所述夾層分隔為兩個連通的導程，所述下端蓋上設有位于所述限流板兩側的進口和出口。本實用新型所提供的換熱套通過隔板和限流板的設置，將外殼和內殼形成的套管的夾層分為兩個連通的導程，工作時，熱載體從下端蓋的進口進入換熱套,沿一個導程到達換熱套的上端時再沿另一個導程返回從下端蓋的出口排出，兩個導程相互并行，與現有技術中的單導程相比，可以降低換熱套兩端的溫差，使化學氣相沉積裝置的沉積底表面熱場均勻，從而使氣相沉積反應能夠均勻進行。

在一種優選的實施方式中，本實用新型所提供的換熱套具有多個限流板和多個隔板，所述隔板沿所述換熱套的周向均勻布置并將換熱套的夾層分隔為多個腔室，每個腔室被限流板分隔為兩個導程，相當于多個雙導程并聯設置，可以確保熱載體充分循環換熱，進一步降低換熱套兩端的溫差，確保沉積底表面熱場分布均勻，保證氣相沉積反應均勻進行。

在另一種優選的實施方式中，所述限流板和所述隔板均為直線型，可以充分利用現有機械加工工藝優勢，保證各腔室以及各導程之間的密封性，避免熱載體泄漏，確保沉積底表面熱場分布均勻。

附圖說明

圖1為本實用新型所提供換熱套一種具體實施方式的正視圖；

圖2為圖1所示換熱套A-A方向示圖；

圖3為圖2所示換熱套沿B-B方向的展開示意圖。

具體實施方式