[實用新型]分束棱鏡調整機構

有效

• 申請號: 201220377239.7
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202771092U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 陳宇環
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種光學領域的調整機構，尤其涉及一種分束棱鏡的調整機構。

背景技術

隨著半導體工藝日益趨于精密化和生產力要求的不斷提高，半導體制造設備的精密性不斷提升，相應地對產品的檢測儀器的精密性要求也不斷提高。在投影光刻系統中，為了提高對硅片標記的對準精度，對對準分系統采用的鏡頭的精度提出了越來越高的要求，而分束棱鏡作為鏡頭組成的重要部件，其安裝傾斜精度是影響鏡頭精度的的主要影響因素之一。

目前分束棱鏡安裝傾斜精度一般通過以下方法的實現：

將分束棱鏡固定在分束棱鏡固定座中，分束棱鏡固定座提供精度比較高的基準面，以此作為分束棱鏡的調節基準，以保證分束棱鏡在鏡頭中的傾斜安裝精度。此種方法對加工精度要求比較高，特別是對小尺寸分束棱鏡，往往無法滿足要求。

請參考附圖1，其為現有技術中的分束棱鏡固定裝置的剖視結構示意圖，圖中400為分束棱鏡，401為分束棱鏡固定座，402為頂絲，403為點膠孔，現有技術的分束棱鏡固定裝置中，分束棱鏡400固定安裝在分束棱鏡固定座401中，分束棱鏡400通過頂絲402或在點膠孔403中點膠固定在分束棱鏡座401中，圖中面Q1與面Q2是分束棱鏡與分束棱鏡座的安裝基準。要求面Q1與基準面N傾斜偏差小于3分，面Q2與基準面M的傾斜偏差小于3分，基準面N與基準面M分別是成像光路與照明光路傾斜測量的參考面。

為了達到面Q1與基準面N傾斜偏差小于3分，需機械加工保證面Q1與面Q3平行度小于0.0065mm，面Q3與基準面N的平行度小于0.01mm；為了達到面Q2與基準面M的傾斜偏差小于3分，需機械加工保證面Q2與成像光路定位孔平行度小于0.0065mm，基準面M與成像光路定位孔的平行度小于0.01mm；這樣要求加工精度比較高，風險大，且加工完成后不方便調整。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是分束棱鏡不易精確、靈活地調整角度。

為了解決以上技術問題，本實用新型提供了一種分束棱鏡調整機構，包括調整座、固定座、若干頂絲與兩塊壓板，所述固定座內設有供放置分束棱鏡的矩形槽，所述固定座設在所述調整座內，所述兩塊壓板固定安裝在所述調整座上，所述兩塊壓板位于所述固定座的兩側，所述壓板的內側表面分別設有內凹球面，所述固定座的兩側分別設有與所述內凹球面匹配的外凸側壁，所述外凸側壁與所述內凹球面滑動連接，所述頂絲穿過所述調整座頂住所述固定座，所述固定座通過所述頂絲進行微調。

所述調整座包括一個頂蓋，兩個相對的側壁和一個底座，所述頂蓋蓋在所述固定座的頂部，所述底座墊在所述固定座的底部，所述外凸側壁與調整座的兩個相對的側壁垂直。

所述調整座的頂蓋上設有與所述矩形槽匹配的矩形口。

兩塊壓板上的內凹球面屬于同一球面。

所述兩塊壓板和所述固定座對應分束棱鏡處設有供光路通過的圓形孔。

所述調整座的頂蓋和底座上分別設有四個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，四個螺紋孔圍繞著所述矩形槽均勻分布，所述螺紋孔穿過調整座的頂蓋或底座連接至所述固定座。

所述調整座的兩個側壁上分別設有兩個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，所述螺紋孔穿過調整座的側壁連接至所述固定座。

所述壓板通過四個角上的螺釘與螺孔固定安裝在所述調整座上。

所述壓板與所述螺釘之間設有彈性墊片。

所述固定座的矩形槽的四周分別設有點膠孔，分束棱鏡通過在所述點膠孔中點膠固定在所述固定座上。

本實用新型通過將固定座放置在調整座中，實現了對固定座的調整，通過對內凹球面與外凸側壁的引入，使得固定座能夠進行微調旋轉，再通過頂絲實現全方位多角度地微調，從而實現對分束棱鏡的角度進行精確、靈活地調整。

附圖說明

附圖1是現有技術的分束棱鏡固定裝置的剖視結構示意圖；

附圖2是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的立體結構示意圖之一；

附圖3是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的立體結構示意圖之二；

附圖4是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的剖視結構示意圖；

附圖5是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的固定座的結構示意圖；

附圖6是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構使用狀態示意圖；