[實(shí)用新型]高溫蝕刻工藝槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220376750.5
• 申請(qǐng)日: 2012-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN202712136U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 耿彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 耿彪
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 北京神州華茂知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11358
• 代理人: 吳照幸

1.一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：包括槽蓋、防腐外殼、保溫隔熱層、加熱裝置、抑制氣體揮發(fā)裝置、降溫裝置、工藝槽本體、連接供液裝置，所述槽蓋位于工藝槽本體頂部，保溫隔熱層位于防腐外殼內(nèi)，工藝槽本體位于保溫隔熱層與工藝槽之間，加熱裝置設(shè)置在工藝槽本體底部，抑制氣體揮發(fā)裝置固定在工藝槽本體的上部，降溫裝置固定在工藝槽本體內(nèi)壁，連接供液裝置從工藝槽本體頂部插入到工藝槽本體內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述槽蓋包括兩塊蓋板、開啟關(guān)閉動(dòng)力機(jī)構(gòu)、密封減震碰撞條，開啟關(guān)閉動(dòng)力機(jī)構(gòu)分別與兩塊蓋板連接，密封減震碰撞條位于兩塊蓋板關(guān)閉時(shí)的中間縫隙處，所述開啟關(guān)閉動(dòng)力機(jī)構(gòu)用于自動(dòng)開啟或關(guān)閉槽蓋。

3.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述防腐外殼是采用聚丙烯板材焊接加工而成的防腐外殼。

4.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述保溫隔熱層采用耐火材料。

5.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述加熱裝置為并排設(shè)置的若干個(gè)加熱燈管。

6.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述抑制氣體揮發(fā)裝置為若干個(gè)冷凝回流盤管。

7.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述降溫裝置包括降溫盤管、制冷裝置、冷卻液體，降溫盤管與制冷裝置連接，冷卻液體是在降溫盤管與制冷裝置之中循環(huán)的冷卻液體。

8.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述工藝槽本體采用石英材料，在工藝槽本體底部設(shè)有橫截面為V形的排放口。

9.如權(quán)利要求1所述的一種高溫蝕刻工藝槽，其特征在于：所述連接供液裝置為若干個(gè)供液補(bǔ)液管道。