[實用新型]一種籽晶桿提拉定位器

有效

• 申請號: 201220376012.0
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN202766656U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 古旭輝;陳斌;杜廣平;劉偉;孟憲府;李堅
• 申請（專利權）人: 新疆天科合達藍光半導體有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B15/36;C30B29/36
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 宋敏

技術領域

本實用新型涉及半導體生產設備技術領域，具體地，涉及一種籽晶桿提拉定位器。?

背景技術

高溫線-料底間距，直接關系到碳化硅晶體質量的好壞。高溫線位置過高，則會使得坩堝頂部內由元素C和Si組成的混合氣氛不足，原料供應不上；同時，又置籽晶于較高的溫區、且該溫區徑向溫度梯度較大，進而有可能引起碳化硅晶體整體相變、界面較凸和背向侵蝕籽晶等惡性影響；高溫線位置過低，則可能會使原料表面溫度過低，以至于由元素C和Si組成的混合氣氛直接在原料表面或內部結晶，阻塞了氣氛的輸送通道，同樣導致原料供應不足，并且此時籽晶處溫度過低，中心與邊緣生長速率都很快，使得碳化硅晶體很容易出現微管連線成片、中心多晶等缺陷。?

控制好高溫線是碳化硅晶體生長的生命線。在生產中，人們主要通過調節籽晶位置，生長溫度來和坩堝上部保溫材料來控制高溫線。由于晶體生長設備調試出來之后，相鄰爐次的生長溫度變化相差不大；再者，坩堝上部保溫材料一般不隨便變化。所以，調節籽晶位置是控制高溫線的最常用手段。

但在實際操作中，籽晶位置的調節由于設備本身的原因遇到了一些困難。出于石墨坩堝和碳化硅晶體方便進出等方面考慮，提拉系統的提拉桿與石墨坩堝上面的籽晶桿是通過一個用石墨繩做成的軟連接貫通的。由于調節石墨繩的松緊度是裝爐的最后一道工序，其它的工藝參數都已準備好，所以人們只能通過一個很小的爐腔口來進行該工序，所以判斷石墨繩的松緊度全憑個人感覺來完成。?

但石墨繩的松緊度，關系到先前已經測量完畢的籽晶位置是否保持原狀態。石墨繩太緊，極有可能已把下面的石墨坩堝提了起來，使得籽晶位置上升幾個毫米，并且下面留了一定的縫隙，影響了原來的溫場；而石墨繩較松，則在生長過程中運行提拉程序時，實際的提拉位移少于預設的位移，同樣會影響到晶體的正常生長，給生長工藝的制定帶來了一項不確定因素。?

目前，生產中為解決石墨繩的松緊度問題而實行的方法是依靠工人的感覺，畢竟人的感覺肯定是沒有一個標準化的儀器檢測標準。?

在實現本實用新型的過程中，發明人發現現有技術中至少存在晶體生長溫場難以控制、提拉位移難以確定、人工判斷可靠性差和晶體質量無保障等缺陷。??

實用新型內容

本實用新型的目的在于，針對上述問題，提出一種籽晶桿提拉定位器，以實現晶體生長溫度易控制、提拉位移易確定、智能判斷可靠性高和晶體質量有保障的優點。?

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種籽晶桿提拉定位器本體，豎直設置的絲桿，和絲桿并行設置、且用于提拉石墨桿的石墨繩，以及設在石墨桿末端、用于連接籽晶桿本體、石墨桿和石墨繩、并支撐絲桿的提拉頭；?

在籽晶桿提拉定位器本體的內部，安裝有電源、與電源連接的開關、以及連接在電源和籽晶桿提拉定位器本體的觸角之間的指示燈組件；籽晶桿提拉定位器本體的觸角，和絲桿觸點式連接；提拉頭，位于石墨桿末端，且與絲桿的下端剛性連接。坩堝為籽晶生產用主要容器，連接坩堝與籽晶提拉桿的物質為石墨桿和石墨繩，坩堝的升降由籽晶桿控制。

進一步地，所述觸角，包括設在所述籽晶桿提拉定位器本體上的主觸角，以及主觸角上下的副觸角；?

所述主觸角，包括動觸點，設在所述動觸點上方的上觸點，以及設在所述動觸點下方的下觸點。

進一步地，所述觸角，還包括用于在未使用狀態保護主觸角和副觸角的觸角蓋。?

進一步地，所述指示燈組件，包括用于在所述動觸點與上觸點接觸時亮燈的高位燈、用于在開關打開時亮燈的電源燈、用于在主觸角和副觸角連通時亮燈的觸角燈、以及用于在動觸點與下觸點接觸時亮燈的低位燈，所述高位燈、電源燈、觸角燈和低位燈分別與電源連接。?

進一步地，所述高位燈包括白色LED燈，電源燈包括綠色LED燈，觸角燈包括藍色LED燈，低位燈包括白色LED燈。?

進一步地，所述提拉頭和絲桿之間的連接方式為軟連接。這里，所謂軟連接，即籽晶桿與石墨坩堝都為硬性材料，中間通過可變形材料石墨繩連接。?

進一步地，在所述提拉頭上對稱地焊接有與絲桿配套的兩個螺帽。?

進一步地，所述觸角和籽晶桿本體之間，通過螺母固定連接，使用時螺帽側朝上。?

進一步地，所述石墨繩的長度，至少比絲桿長20mm。?