[實用新型]用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉

有效

• 申請號: 201220375859.7
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN202678394U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 吳艷芬;詹國平;余濤;陳筑;劉曉巍;劉偉
• 申請（專利權）人: 寧波尤利卡太陽能科技發展有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務所(普通合伙) 33228
• 代理人: 代忠炯

技術領域

本實用新型涉及晶體硅太陽能電池技術領域，具體涉及一種用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉。

背景技術

擴散工序在晶體硅太陽能生產過程中形成PN結的工段，其主要原理是在含硼的高純硅基體上沉積一層磷原子的過程。該工序要求潔凈度高，所用工裝夾具不能被金屬離子或粉塵污染，其中包括作為硅片載體的石英舟亦是如此。石英舟作為硅片的載體將硅片支撐與垂直方向呈5°的傾斜角放入高溫擴散爐（﹥600℃）內沉積磷原子，以形成PN結。目前大多廠家選擇小石英舟用于生產，但在運轉小石英舟時，為避免污染石英舟，需有種運轉石英舟的石英舟叉。目前擴散工序使用的石英舟叉結構復雜，損壞其中一個部件時即將整個石英舟叉報廢，生產成本高。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、便于操作、成本低的用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉。

為解決上述問題，本實用新型提供一種用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉，該石英舟叉包括底板、用于固定石英舟的U形擋板，所述底板包括左側用于支撐石英舟的平板和右側用于手握的握桿，所述擋板與握桿連接且擋板的兩側支腳朝向底板的平板。U形擋板即擋板的形狀為U形，即擋板的兩端有兩個伸出的支腳，在使用過程中石英舟側面垂直的支桿可以被夾在擋板的兩支腳之間從而實現從兩側對石英舟進行固定。擋板的兩支腳長度根據石英舟側面兩支桿間距決定。

采用以上結構后，本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：本實用新型用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉包括底板和擋板，底板包括平板和握桿，擋板和握桿之間連接。使用的時候，手握住握桿，利用底板的平板鏟起放置在平面上的石英舟，平板從底部支撐石英舟的重量，擋板從側向固定住石英舟，該石英舟叉結構簡單，使用非常方便。而當其中一塊底板或擋板損壞時，只要更換該底板或擋板即可，減少了石英舟叉的更換成本，這也相對使該石英舟叉成本降低。

所述擋板中間設置有一剛好卡于握桿的缺口，所述擋板和握桿在缺口處通過螺釘進行連接。該缺口可以讓擋板和握桿之間更好地通過螺釘結合與固定起來，使擋板和握桿之間的結合更為牢固。

所述平板與握桿之間為一體成型。一體成型的結構方便制作，且平板與握桿之間的連接也更為牢固。

所述底板和擋板的材料均為塑料，進一步優選為玻璃纖維增強PEEK復合材料。該材料使底板和擋板耐熱性高、不易變形，且質量輕、成本低。

所述平板的左側沿平板長度方向設置有一延伸板，所述延伸板的厚度小于平板的厚度，所述延伸板和平板之間為一體成型。延伸板的設置使得鏟起放置在平面上的石英舟時更為容易和方便。

所述平板在長度方向上設置有用于卡住石英舟底部支桿的卡槽。該卡槽從底部卡住石英舟，有固定作用，使石英舟不易從石英舟叉掉落。

附圖說明

圖1所示的是本實用新型用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉的結構示意圖；

圖2所示的是本實用新型用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉的底板的結構示意圖；

圖3所示的是本實用新型用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉的擋板的結構示意圖。

其中：1、擋板；2、平板；3、握桿；4、支腳；5、缺口；6、螺釘；7、延伸板；8、卡槽。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳述。

如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型用于晶體硅太陽能電池擴散工序的石英舟叉包括底板、用于固定石英舟的U形擋板1。所述底板包括左側用于支撐石英舟的平板2和右側用于手握的握桿3。所述平板2與握桿3之間為一體成型。所述平板2的左側沿平板2長度方向設置有一延伸板7，所述延伸板7的厚度小于平板2的厚度，所述延伸板7和平板2之間為一體成型。所述底板及與之一體成型的延伸板7的材料為塑料，進一步優選為玻璃纖維增強PEEK復合材料。所述平板2在長度方向上設置有用于卡住石英舟底部支桿的卡槽8。

所述U形擋板1即擋板1的形狀為U形，即擋板1的兩端有兩個伸出的支腳4，擋板1的兩支腳4長度根據石英舟側面兩支桿間距決定。所述擋板1的材料為塑料，進一步優選為玻璃纖維增強PEEK復合材料。

所述擋板1與握桿3連接且擋板1的兩側支腳4朝向底板的平板2。所述擋板1中間設置有一剛好卡于握桿3的缺口5，所述擋板1和握桿3在缺口5處通過螺釘6進行連接。

以上實施例是對本實用新型的說明和進一步解釋，而不是對本實用新型的限制，在本實用新型的權利范圍內所作的任何修改，都落入本實用新型的保護范圍。