[實用新型]一種直拉單晶硅爐爐底排氣裝置

有效

• 申請號: 201220375639.4
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202786493U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 鄒志勇;劉添華;陳寶山
• 申請（專利權）人: 濟南偉得熱工材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻

技術領域

本實用新型涉及一種直拉單晶硅爐爐底排氣裝置，屬于單晶硅直拉技術領域。

背景技術

在直拉單晶硅生產工藝中，需要向直拉單晶硅爐中通入氬氣進行冷卻并帶走拉單晶過程中產生的廢氣。在直拉單晶硅爐排氣口的位置，由于溫度較低，會有大量雜質冷凝，時間長了會堵塞排氣口，嚴重影響拉晶的速度和質量。因此需要經常拆卸清洗排氣裝置。原來的排氣裝置采取的結構是導氣管一端設計一小臺階，與圓柱形排氣彎管相連接，而原排氣裝置拆卸后，由于結構設計原因其很難恢復到原來的狀態，容易產生尾氣泄漏，導致尾氣進入保溫層，迅速損壞保溫層，使保溫效果變差，影響單晶硅的生產質量，并增加了維修成本。

發明內容

針對現有技術中存在的上述缺陷，本實用新型提供了一種高度可調節、安裝方便的爐底排氣裝置。

本實用新型所采用的技術方案是：一種直拉單晶硅爐爐底排氣裝置，包括一端與爐體連接的排氣彎管和連接在所述排氣彎管另一端的導氣直管，其特殊之處是，所述排氣彎管與導氣直管連接的一端的管孔為多邊形管孔，所述導氣直管與排氣彎管連接的一端通過螺紋連接有一與所述多邊形管孔相適配的多邊形螺母，所述多邊形螺母上下可動地設置在所述排氣彎管的多邊形管孔里。

本實用新型中，導氣直管通過多邊形螺母與排氣彎管連接，且其由于與多邊形螺母連接，因此可隨多邊形螺母上下移動。安裝本實用新型時，由于導氣直管可以上下移動，并且導氣直管與多邊形螺母之間可以通過螺紋的旋進深度進行調節，因此安裝時更方便，可方便地調節排氣管道的高度。

本實用新型中的多邊形管孔和多邊形螺母可以是方形管孔和方形螺母，也可以是其他的多邊形結構，考慮到結構設計的簡單及可靠性，所述排氣彎管上的多邊形管孔為方形管孔，所述多邊形螺母為方形螺母。

為了保證螺母與排氣彎管之間的密封性，所述方形螺母的下端設有凸緣，所述排氣彎管上的方形管孔的下端口設有與所述凸緣相配合的密封槽。

本實用新型的有益效果是：本實用新型結構簡單，其通過改變排氣彎管和導氣直管的連接結構，使得導氣直管可以上下移動，安裝時能自動調節其高度，安裝更方便，避免了因安裝不到位導致的密封不嚴的問題，很好地解決了維修時排氣裝置難以恢復原位的技術難題。同時，本實用新型的結構能有效對排氣裝置在使用過程中因熱脹冷縮形成的位移間隙進行自動調整，保證了裝置的密封性。

附圖說明

圖1是具體實施方式中本實用新型與爐體裝配時的結構示意圖；

圖2是圖1的俯視圖；

圖3是圖1中的排氣彎管的主視圖；

圖4是圖3的俯視剖視圖；

圖5是圖1中的方形螺母的主視圖；

圖6是圖4的俯視圖

圖7是圖1中的排氣彎管與導氣直管連接的放大結構示意圖；

圖中，1、爐體，2、排氣彎管，3、螺母，4、導氣直管，5、管孔，6、密封槽，7、凸緣。

具體實施方式

下面通過非限定性的實施例并結合附圖對本實用新型作進一步的說明：

如附圖1-2所示，在直拉單晶硅爐爐體1周圍設置有四套爐底排氣裝置，每套爐底排氣裝置包括排氣彎管2、螺母3、導氣直管4。排氣彎管2為直角彎管，其一端與直拉單晶硅爐的爐體1連接并與其內部相通，其另一端的管孔5為方形管孔。螺母3為方形螺母。導氣直管4的上端部設有外螺紋，該端通過所述外螺紋與螺母3連接。螺母3裝配在排氣彎管2的方形管孔內并可上下移動。

為了保證螺母3與排氣彎管2之間的密封性，本實施例中在方形螺母3的下端設有凸緣7，在排氣彎管2上的方形管孔5的下端口設有與所述凸緣7相配合的密封槽6。排氣裝置安裝后，螺母3與排氣彎管2之間通過凸緣7和密封槽6可形成良好的密封。

上述實施例僅用作對本實用新型的說明，本實施例中的螺母3還可以是其他的多邊形螺母，如：六邊形螺母或五邊形螺母等，當然，與螺母3配合的排氣彎管2上的管孔5也應是與之相適應的多邊形結構形式。此外，螺母3與排氣彎管2的管孔之間的密封結構也可采用多臺階梯形密封結構形式。

本實施例中的其他部分采用現有技術，在此不再贅述。