[實用新型]一種ITO導電膜匯流電極

有效

• 申請號: 201220373176.8
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202841679U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 石勇
• 申請（專利權）人: 廈門中天啟航電子科技有限公司
• 主分類號: H05K1/02
• 分類號: H05K1/02;H05K3/00;H01B5/14
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 李寧

技術領域

本實用新型涉及光電技術領域，具體來說，是一種ITO導電膜匯流電極。

背景技術

觸控面板、柔性太陽能電池、OLED顯示及照明已越來越多地被應用于各個光電工業領域，其中的主要功能材料都是ITO導電膜，ITO導電膜具有優良的透光效果及導電功能，ITO導電膜可以在很薄的前提下實現好的導電效果，這樣既實現了透明功能，又具備各項電性能，在人們對電子產品無止境地追求更輕、更薄、更好的視覺效果的刺激下，ITO導電膜得到了前所未有的廣泛應用。

熟知的匯流電極，均是用絲印銀漿的方法來制作；用絲印的方法來制作匯流電極，電極寬度普遍在80～150微米，用常規的設備及銀漿很難做到80微米以下的寬度的條形匯流電極。這樣匯流電極的面積達到一些設備面積的6%～8%，嚴重的限制了相關設備的功能區域，且影響設備的外觀設計，也制約了相關設備的進一步發展。

現有絲印銀漿制作匯流電極的技術，不僅均勻性差，成本高，材料浪費嚴重，對環境有一定污染，而且Ag的附著力差，制作精度不夠高，對于一些電極間距要求高，相對復雜的圖案都不易實現。

目前絲印銀漿制作匯流電極的方法，在觸摸屏領域幾乎只用于電阻式觸摸屏，對于電容式觸摸屏，邊框較寬，影響顯示設備的可視區域。這種方法效率低，精度低，制約了觸摸屏與顯示屏的融合，限制顯示屏幕向大屏窄邊發展的趨勢。在柔性太陽能及OLED應用中，匯流電極的可靠性及便捷性直接影響了其產品的推廣及工程化，低成本、高可靠、便于拆裝維護是產品得以廣泛應用的前提。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對以上問題，提出一種ITO導電膜匯流電極，使匯流電極與ITO導電膜可靠接觸，可靠性高，制造成本降低，提升良品率。

為了實現上述目的，本實用新型的解決方案是：

一種ITO導電膜匯流電極，由基材、ITO導電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，ITO導電膜及金屬層通過真空濺射鍍膜依次濺鍍在基材上，ITO導電膜和金屬層通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在電極形狀的表面通過抗氧化處理形成保護層，柔性電路板帶有標準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導電膜綁定在一起。

所述金屬層材料是鋁、鎳、鉬、金、銀或銅中的一種或多種的合金。

所述基材是玻璃等無機透明材料，或是PET等有機透明材料。

所述電極形狀是條形、S型、T型、閃電型等各種規則或不規則圖形。

一種ITO導電膜匯流電極，由ITO導電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，金屬層通過真空濺射鍍膜形成在ITO導電膜的兩面上，ITO導電膜的兩面和金屬層分別通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在兩面電極形狀的表面通過抗氧化處理各形成保護層，柔性電路板帶有標準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導電膜綁定在一起。

所述金屬層材料是鋁、鎳、鉬、金、銀或銅中的一種或多種的合金。

所述電極形狀是條形、S型、T型、閃電型等各種規則或不規則圖形。

采用上述方案后，本實用新型與現有技術相比，適應各種線寬線距，適應性強，鍍金屬工藝使得匯流電極與ITO導電膜可靠接觸，可靠性高，鍍金屬工藝加工工序減少，加工周期縮短，制造成本降低，金屬層使得ITO導電膜加工過程中ITO劃傷減少，大大提升了良品率。

以下結合附圖及具體實施例對本實用新型做進一步詳細描述。

附圖說明

圖1是一種ITO導電膜匯流電極示意圖；

圖2是ITO導電膜示意圖；

圖3是ITO膜濺射金屬層后的示意圖；

圖4是涂布后的示意圖；

圖5是曝光后的示意圖；

圖6是顯影后示意圖；

圖7是蝕刻后示意圖；

圖8是去膠后示意圖；

圖9是制作金屬層抗氧化處理的示意圖。

具體實施方式

實施例1

本實用新型揭示的一種ITO導電膜匯流電極，如圖1所示，由基材2、ITO導電膜1、金屬層3、保護層5和柔性電路板6組成。ITO導電膜1位于基材2上，金屬層3通過真空濺射鍍膜形成在ITO導電膜1上，ITO導電膜1和金屬層2通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在電極形狀的表面通過抗氧化處理形成保護層5，柔性電路板6帶有標準接口，柔性電路板6與制作好電極形狀的ITO導電膜1綁定在一起。

實施例1的制作方法，具體步驟如下。