[實用新型]散斑相關和散斑干涉相結合的三維變形測量系統有效
| 申請號: | 201220372299.X | 申請日: | 2012-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN202748011U | 公開(公告)日: | 2013-02-20 |
| 發明(設計)人: | 孫平;孫明勇 | 申請(專利權)人: | 山東師范大學 |
| 主分類號: | G01B11/16 | 分類號: | G01B11/16;G01B11/02 |
| 代理公司: | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人: | 張勇 |
| 地址: | 250014 山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 相關 干涉 相結合 三維 變形 測量 系統 | ||
【權利要求書】:
1.一種散斑相關和散斑干涉相結合的三維變形測量系統,其特征是,它包括激光器,激光器發出的激光送入擴束鏡;擴束鏡后方設有與入射光線成45°角傾斜放置的半透半反鏡,半透半反鏡的反射光照射到被測物,透射光則照射到參考物面,參考物面與PZT相移器連接構成參考光路;被測物的散斑圖像經過半透半反鏡由成像透鏡成像在CCD攝像機上,利用被測物變形前后的兩幅散斑圖,計算出面內位移的二個分量;在參考光路工作時被測物表面的散斑圖像與參考物面的散斑圖像形成干涉散斑圖像,并由成像透鏡成像在CCD攝像機上,測量物體離面位移分量。
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