[實用新型]Mirau型物鏡及使用該物鏡的干涉顯微鏡和測量系統

有效

• 申請號: 201220363110.0
• 申請日: 2012-07-25
• 公開（公告）號: CN202794687U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 陶純堪
• 申請（專利權）人: 陶純堪
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G01B9/04;G01B11/24;G01B11/30
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 朱戈勝

1.一種Mirau型物鏡，其特征是包括顯微鏡頭、第一干涉板和第二干涉板；第一干涉板和第二干涉板平行放置在顯微鏡頭的下方，且與顯微鏡頭的光軸垂直；第一干涉板在顯微鏡頭和第二干涉板之間；第一干涉板上表面中心設有反射圓斑；第二干涉板的上表面鍍有分光膜，該分光膜的反射率是10%～30%。

2.根據權利要求1所述的Mirau型物鏡，其特征第一干涉板和第二干涉板之間的相對位置固定；它們沿光軸方向以及與光軸垂直方向的位置可調。

3.根據權利要求1或2所述的Mirau型物鏡，其特征是所述反射圓斑的反射率為100%。

4.一種使用權利要求1、2或3任一所述Mirau型物鏡的Mirau干涉顯微鏡，其特征是包括光源、聚光鏡、視場光闌、單色濾光片、第一分光鏡、第二分光鏡、工作臺和所述Mirau型物鏡；所述光源、聚光鏡、視場光闌、單色濾光片和第一分光鏡位于第一光軸上，且自后向前依次排列；所述第二分光鏡、第一分光鏡和所述Mirau型物鏡位于第二光軸上，且自上向下依次排列；所述第二分光鏡位于第三光軸上；第一光軸和第二光軸相互垂直；第三光軸和第一光軸夾角30°；所述第一分光鏡與第一光軸和第二光軸都成45°；在第三光軸上設有目鏡；用于裝載被測物的工作臺位于Mirau型物鏡的下方。

5.根據權利要求4所述的Mirau干涉顯微鏡，其特征是所述Mirau型物鏡包括多個，各個Mirau型物鏡倍率不同。

6.根據權利要求4所述的Mirau干涉顯微鏡，其特征是本Mirau干涉顯微鏡的工作模式有白光干涉和單色光干涉.；白光干涉時，單色濾光片移出光路；單色光干涉時，單色濾光片移進光路。

7.根據權利要求4或5所述的Mirau干涉顯微鏡，其特征是所述工作臺連接在位置平移驅動裝置上；所述位置平移驅動裝置是精密步進電機，步進電機的轉子連接微調轉輪，微調轉輪與所述工作臺連接。

8.一種使用權利要求4～7任一所述的Mirau干涉顯微鏡的測量系統，其特征是包括Mirau干涉顯微鏡、計算機和攝像機；所述Mirau干涉顯微鏡的工作臺連接在位置平移驅動裝置上；所述位置平移驅動裝置的控制信號輸入端連接計算機的控制信號輸出端；攝像機固定在所述Mirau干涉顯微鏡的攝像孔處，攝像機的光軸與Mirau干涉顯微鏡的第二光軸重合；攝像機的探測面與被測物面干涉場定位面共軛；攝像機的視頻信號數據輸出端連接所述計算機的數據輸入端。

9.根據權利要求8所述的測量系統，其特征是所述位置平移驅動裝置是精密步進電機；步進電機的轉子通過微調轉輪連接所述工作臺，步進電機的控制信號輸入端連接所述計算機的控制信號輸出端。