[實用新型]一種LED發光二極管外延生長新設備有效
| 申請號： | 201220362219.2 | 申請日： | 2012-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN202705564U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 莊文榮;孫明 | 申請（專利權）人： | 江蘇漢萊科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/08 | 分類號： | C30B25/08;H01L33/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 led 發光二極管 外延 生長 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種LED發光二極管外延生長新設備，包括電控箱、混氣箱、反應腔、傳送箱、尾氣處理系統，其特征在于反應腔側壁不垂直于外延生長載盤。
2.權利要求1所述的設備，其特征在于反應腔的側壁為圓弧形。
3.權利要求1所述的設備，其特征在于反應腔的側壁與外延生長載盤所成的角度小于90度。
4.權利要求1所述的設備，其特征在于尾氣處理系統，其與反應腔連接的反應腔出氣口設置于反應腔的底部，為圓環結構，與外延生長載盤的圓心在水平的同一垂直線上。
5.權利要求4所述的設備，其特征在于反應腔出氣口的排氣管道內設有冷卻水管。
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