[實用新型]用于硅片加工設備的晶托搬運裝置

有效

• 申請號: 201220361975.3
• 申請日: 2012-07-24
• 公開（公告）號: CN202805444U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 蘇蘭虎;楊風桐
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及光伏領域，特別涉及一種用于硅片加工設備的晶托搬運裝置。?

背景技術

在利用硅片切割設備進行硅片加工時，需要事先依次利用黏膠將玻璃和待切割的硅塊粘接在晶托上，再對硅塊進行定位和切割作業；硅塊在切割時，其上下面處的部分材質被切割下而殘留在玻璃上，這部分材質稱為頂底料，在加工結束后，將晶托、玻璃以及頂底料從機床上取下，放置在化膠槽中的沸水里進行化膠，以便將晶托、玻璃和頂底料分離，實現晶托和頂底料的循環利用。?

在化膠后，由于化膠槽中水的溫度很高，需要使用搬運裝置將晶托1從化膠槽中取出，為了方便將晶托1取出，在晶托1的兩端分別設置有通孔101，如圖1所示。目前，常用的搬運裝置為兩個彎成90°的鋼棍2，如圖2所示，在搬運晶托1時，將兩個鋼棍2從晶托1的一側分別插在晶托1兩端的通孔101中，然后由操作人員雙手持鋼棍2的上端將晶托1以及附著在晶托1上的玻璃和頂底料從化膠槽中取出。?

由于在化膠時，晶托1上還粘接有玻璃和頂底料，使得在搬運晶托1時，兩個鋼棍2所承受的載荷相對較大，而鋼棍2在搬運時只是從晶托1的一側插入通孔101中，晶托1兩側的受力并不均勻，晶托1與鋼棍2的相對位置關系不固定，很容易導致晶托1在搬運過程中發生幅度相對較大的晃動或滑落的現象，甚至導致安全事故的發生；若晶托1滑落，需要重新搬運晶托1，降低了搬運的效率；此外，若晶托1在搬運時發生大幅度晃動時，附著在晶托1上的玻璃和頂底料兩端的受力不均衡，極可能會從晶托上滑脫，需重新搬運，給搬運作業帶來較大的難度。?

因此，如何提高晶托搬運過程中的安全性以及搬運的效率是本領?域技術人員需要解決的技術問題。?

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種用于硅片加工設備的晶托搬運裝置，該晶托搬運裝置能夠顯著提高晶托搬運過程的安全性，并具有較高的搬運效率。?

為實現上述目的，本實用新型提供一種用于硅片加工設備的晶托搬運裝置，包括至少兩組卡具裝置，所述卡具裝置包括兩個相互樞接的卡桿，所述卡桿的一端為把手，另一端為卡頭，所述把手的轉動帶動兩個所述卡頭從所述晶托的兩側卡在所述晶托的通孔中。?

優選地，所述卡桿豎直設置，所述卡頭朝向所述卡桿的內側彎曲90°。?

優選地，所述卡頭為圓管。?

優選地，所述把手的末端樞接在另一個所述把手上。?

優選地，兩個所述把手上下平行設置。?

優選地，兩個所述卡桿通過銷釘樞接。?

優選地，所述卡具裝置為不銹鋼卡具裝置。?

優選地，包括兩組所述卡具裝置，分別設置在所述晶托的兩端。?

在需要將所述晶托從化膠槽中取出時，操作人員操作兩個相互樞接的所述卡桿，對所述卡桿一端的所述把手施加外力，通過改變兩個所述把手之間的相對位置關系，適當的調節兩個所述卡頭之間的距離，以使所述卡頭能夠從所述晶托的兩側插入所述晶托的通孔中，并使所述卡具裝置至少安裝到所述晶托的兩端的通孔處；操作人員再次操作兩個所述卡桿，通過調節所述把手之間相對位置關系并對其施加外力，以使所述卡頭卡緊在所述晶托的通孔中，保證所述卡頭不會從所述通孔中滑脫；平穩的將所述晶托以及附著在所述晶托上的玻璃和頂底料一起從化膠槽中取出；在取出晶托后，將所述晶托、所述玻璃以及所述頂底料分離，并分別清洗后，即可對所述晶托和所述頂底料循環利用。?

本實用新型所提供的晶托搬運裝置在搬運過程中，從所述晶托的?兩側均插入有卡頭，在所述晶托的長度和寬度方向均有所述卡具裝置進行定位，且所述晶托在其長度方向和寬度方向上的受力都較為均勻，不會發生大幅度的晃動或滑落的現象，也不會對操作人員和所述晶托造成傷害，顯著提高了搬運過程中的安全性；此外，經過一次操作即可將所述晶托取出，提高了搬運的效率。?

附圖說明

圖1為現有技術中晶托的結構示意圖；?

圖2為現有技術中搬運裝置的結構示意圖；?

圖3為本實用新型所提供的晶托搬運裝置的一種具體實施方式的結構示意圖。?

具體實施方式

本實用新型的核心是提供一種用于硅片加工設備的晶托搬運裝置，該晶托搬運裝置能夠顯著提高晶托搬運過程的安全性，并具有較高的搬運效率。?

為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案，下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。?