[實用新型]一種用于硅粉廢料處理的干燥設備

有效

• 申請號: 201220361241.5
• 申請日: 2012-07-25
• 公開（公告）號: CN202692608U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 胡城;張偉濤;翟志強;胡仰棟
• 申請（專利權）人: 青島海林電子材料科技有限公司
• 主分類號: F26B7/00
• 分類號: F26B7/00
• 代理公司: 青島海昊知識產權事務所有限公司 37201
• 代理人: 王鐸

技術領域

本實用新型涉及一種干燥設備，具體涉及一種用于解決廢砂漿回收過程中硅粉廢料處理的干燥設備。

背景技術

采用線切割技術加工晶硅硅片時，會產生大量的硅粉顆粒，該硅粉顆粒粒徑在3μm以下，具有很高的表面能，能與水和空氣反應，高表面活性的硅粉長時間和空氣接觸容易自燃，從而引發火災。有報道稱國內某廠家因為硅粉自燃造成了3000萬以上的損失。現有的砂漿回收工藝中，廢砂漿經水稀釋后，粘度降低，然后通過離心作用實現硅粉、碳化硅磨料和切割液的分離。其中大部分硅粉被當作廢棄物丟掉，剩余部分硅粉通過和氫氧化鈉溶液反應除去。該工藝生產過程中產生大量的硅粉，在存儲、運輸過程中存在火災隱患。另外，硅粉表面吸附有少量切割液，若隨意丟棄，一方面造成資源浪費，另一方面造成環境污染，硅粉本身的價值也沒有得以利用。

發明內容

針對上述問題，本實用新型的目的是提供一種用于解決廢砂漿回收過程中硅粉廢料處理的干燥設備，該干燥設備能夠使硅粉廢料安全緩慢的釋放表面能，除去硅粉中的水分，避免硅粉廢料自燃，并回收硅粉廢料吸附的切割液。

為解決上述問題，本實用新型的技術方案是：

一種用于硅粉廢料處理的干燥設備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機、冷凝器、儲液罐和真空機組，所述真空干燥機頂部和底部分別設有進料口和卸料口，所述真空干燥機的進料口和卸料口裝有機械密封。

所述真空干燥機采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導熱油作為加熱介質。

所述真空干燥機內部設有溫度探頭，在線監測系統溫度。

所述真空干燥機內部還設有攪拌裝置，所述攪拌裝置的傳動軸采用機械密封方式。

所述真空機組包括兩級真空泵，可使裝置內真空度達到1kPa。

由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

經本實用新型處理后的硅粉廢料可以作為產品銷售，沒有自聚發熱現象，不會發生自燃，可以安全環保的進行儲存和運輸。處理過程中可以回收硅粉廢料吸附的少量切割液，每噸可回收30-50kg切割液，可以產生可觀的經濟效益。本實用新型所述真空干燥機兩端設有機械密封，可以保證干燥機內真空，避免了硅粉廢料中的超細硅粉顆粒在設備內與空氣接觸，生產過程安全環保。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中，1.真空干燥機；2.冷凝器；3.儲液罐；4.切割液排出管路；5.真空機組；6.真空干燥機卸料口；7.真空干燥機進料口；8.真空干燥機蒸汽出口；9.加熱介質入口；10.加熱介質出口。

具體實施方式

下面結合附圖并通過具體實施例來詳細說明本實用新型。

如圖1所示，本實用新型包括真空干燥機1，所述真空干燥機1的頂部設有干燥機進料口7，底部設有干燥機卸料口6；所述真空干燥機采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導熱油作為加熱介質，包括其底部的加熱介質入口9和頂部的加熱介質出口10。所述真空干燥機1內部設有溫度探頭，可以連接在線監測系統。所述真空干燥機1頂部蒸汽出口8與冷凝器2連接，所述的冷凝器2中物料冷凝后進入儲液罐3，所述儲液罐3內冷凝后液體通過切割液排出管路4排出，所述儲液罐3上部連接真空機組5，所述真空機組5工作過程中控制系統壓力為1kPa以下。

本實用新型的工作過程為：吸附少量切割液的硅粉廢料經真空干燥機進料口7裝進真空干燥機1后，開啟真空機組5，當體系內壓力到達1kPa以后開始加熱干燥硅粉廢料，真空干燥器1中產生的蒸汽經過蒸汽出口8進入冷凝器2冷凝后再進入儲液罐3，最后經過切割液排出管路4回收，濃度為10%-20%，作為原料回用，儲液罐3上部連接的真空機組5為系統提供高真空環境。硅粉廢料在加熱干燥過程中細顆粒不斷團聚，平穩釋放表面能。干燥后的硅粉廢料經真空干燥機卸料口6卸出，溫度50℃以下，顆粒中位徑0.1mm，不再有自燃風險。