[實(shí)用新型]一種微波裂片設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220360782.6
• 申請日: 2012-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN202712135U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何自強(qiáng);柳清超;劉洋
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽硅基科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/301
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富;周秀梅

1.一種微波裂片設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備包括加熱腔室、加熱器、微波發(fā)生器、硅片傳輸機(jī)械手、載物臺(tái)、測溫系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；其中：所述加熱器、測溫系統(tǒng)和控制系統(tǒng)設(shè)置于加熱腔室內(nèi)部，所述微波發(fā)生器設(shè)置于加熱腔室外部；所述載物臺(tái)固定于加熱腔室底面上，加熱腔室側(cè)壁開傳輸孔，所述硅片傳輸機(jī)械手與控制系統(tǒng)連接，控制系統(tǒng)控制硅片傳輸機(jī)械手通過所述傳輸孔將硅片移入加熱腔體內(nèi)并置于載物臺(tái)上及從載物臺(tái)上抓取硅片并通過所述傳輸孔孔移出加熱腔室。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述控制系統(tǒng)與微波發(fā)生器、測溫系統(tǒng)、加熱器連接；所述控制系統(tǒng)接受測溫系統(tǒng)傳送的加熱腔室內(nèi)的實(shí)時(shí)溫度，控制加熱器的啟動(dòng)和關(guān)閉，并控制和調(diào)節(jié)微波發(fā)生器的啟動(dòng)和加熱功率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述測溫系統(tǒng)為設(shè)置在加熱腔室內(nèi)部的熱電偶溫度儀，與所述控制系統(tǒng)連接；所述熱電偶溫度儀的數(shù)量為4~10個(gè)，設(shè)置于加熱腔室的底部和頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述加熱腔室由316不銹鋼制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述微波發(fā)生器通過波導(dǎo)與加熱腔室連接，所述微波發(fā)生器的數(shù)量為2~8個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述加熱腔室外壁設(shè)置用于防止微波泄漏的防止微波泄漏壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波裂片設(shè)備，其特征在于：所述加熱腔室內(nèi)壁設(shè)置保溫壁。