[實(shí)用新型]一種硅片倒角機(jī)用組合磨輪

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220359214.4
• 申請日: 2012-07-23
• 公開（公告）號: CN202985377U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝玉清;張立;安瑞陽;葉松芳;盧立延;陳信;杜娟
• 申請（專利權(quán)）人: 有研半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號: B24D5/00
• 分類號: B24D5/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 郭佩蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型提供一種硅片倒角機(jī)用組合磨輪。

背景技術(shù)

磚片邊緣倒角加工不僅在于去除邊緣加工損傷和鈍化棱角，當(dāng)磚片在進(jìn)入元器件的制造過程中會有較多的熱周期，這些加熱或冷卻的過程非常迅速，會產(chǎn)生熱應(yīng)力，一旦熱應(yīng)力超過晶體的彈性強(qiáng)度，會產(chǎn)生差排及位錯(cuò)，由于不同廠家的設(shè)備，工藝及磚片種類差異，他們對磚片邊緣輪廓的要求呈現(xiàn)出多樣化，導(dǎo)致在加工時(shí)需要頻繁更換倒角磨輪，降低了倒角機(jī)的使用效率，影響按時(shí)交付。

使用硅片倒角機(jī)用組合磨輪可以實(shí)現(xiàn)不換磨輪的情況下，加工多種邊緣輪廓規(guī)格的硅片。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種磚片倒角機(jī)用組合磨輪，可在不換磨輪的情況下加工出不同邊緣輪廓規(guī)格的硅片。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種硅片倒角機(jī)用組合磨輪，包括輪體和多個(gè)位于輪周邊的磨槽。

所述磨槽的個(gè)數(shù)優(yōu)選為9個(gè)，其中4個(gè)磨槽的邊緣剖角為39°00′～41°00′，磨槽底部的圓弧半徑為2.6～3.0mm；其余磨槽的邊緣剖角為21°00′～23°00′，磨槽底部的圓弧半徑為2.2～2.6mm。

所述磨槽的深度為1.00～1.20mm。

所述磨槽所容設(shè)的磚片的厚度為550～780μm。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

本實(shí)用新型通過合理的設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)倒角機(jī)不換磨輪加工不同邊緣輪廓的硅片，提高了倒角機(jī)工作效率，達(dá)到靈活生產(chǎn)，快速交付的效果。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型磨輪的縱斷面示意圖。

圖2為本實(shí)用新型磨輪周邊磨槽的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型的硅片倒角機(jī)用組合磨輪，包括輪體1和多個(gè)位于輪周邊2上的磨槽。其中輪體2為圓形，具有中心孔3，多個(gè)磨槽依次設(shè)置在磨輪周邊。磨槽的個(gè)數(shù)優(yōu)選為9個(gè)，依次為磨槽V1～V9，其中磨槽V1～V4的邊緣剖角為39°00′～41°00′，槽底部的圓弧半徑為2.6～3.0mm；磨槽V5～V9的邊緣剖角為21°00′～23°00′，槽底部的圓弧半徑為2.2～2.6mm。磨槽V1～V9的深度為1.00～1.20mm。

磨槽V1～V9所容設(shè)的磚片的厚度為550～780μm。

本實(shí)用新型通過合理的設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)倒角機(jī)不換磨輪加工不同邊緣輪廓的硅片，提高了倒角機(jī)工作效率，達(dá)到靈活生產(chǎn)，快速交付的效果。