[實用新型]密閉式集塵吹氣機

有效

• 申請號: 201220351037.5
• 申請日: 2012-07-19
• 公開（公告）號: CN202779050U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 賴振元
• 申請（專利權）人: 賴振元
• 主分類號: B08B5/00
• 分類號: B08B5/00;B08B15/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

技術領域

本實用新型系與制品去塵有關，更詳而言之是指一種密閉式集塵吹氣機。

背景技術

隨著科技產業的進步，如半導體、光電、醫藥、食品等精密工業中亦日漸發達。而上述工業產品的質量、可靠性以及良率高低與制造環境與制造過程的潔凈程度有著極大的關系。

對于微塵顆粒有極為嚴格要求的晶圓廠潔凈室，經常利用人工進行高壓空氣吹除或以真空吸取方式，去除附著于對象表面的微塵，不僅清潔無法達到最佳的效果，且吹氣產生的擾流亦會引起微塵顆粒飛濺四射于潔凈室內，進而造成潔凈室污染，降低潔凈室的等級。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種密閉式集塵吹氣機，具有良好的去塵效果，而可大幅地減少微塵附著于待處理物上的情形。

緣以達成上述目的，本實用新型所提供的一種密閉式集塵吹氣機，用以去除一待處理物上的微塵；該密閉式集塵吹氣機包含有：

一機臺；

一置具，設于該機臺上，該待處理物置放于其上，且該置具相對該機臺呈一角度傾斜；

至少一離子風扇，設于該機臺上，且位于該置具上方；

一風力裝置，設于該機臺上，且位于該置具上方，相對該置具移動；以及

一集塵裝置，設于該機臺上，且位于該置具的下方。

依據上述構思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架一側與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往一方向傾斜。

依據上述構思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架中央與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往相反的兩方向傾斜。

依據上述構思，該風力裝置的移動方向平行于該樞軸。

依據上述構思，該風力裝置用以往該置具的方向吹出垂直于該樞軸的片狀風壓。

依據上述構思，該機臺具有一去塵室；該置具、該離子風扇與該風力裝置設于該去塵室中；該集塵裝置設于該去塵室下方，用以抽離該去塵室中的空氣。

依據上述構思，該風力裝置的兩側分別具有至少一入風口，且底部具有一呈細長狀的出風口；加壓后的空氣由所述入風口輸入后，由該出風口吹出。

本實用新型的有益效果是：通過上述設計，該密閉式集塵吹氣機將可具有良好的去塵效果。

附圖說明

為能更清楚地說明本實用新型，以下列舉較佳實施例并配合附圖詳細說明如后，其中：

圖1為本實用新型第一較佳實施例的外觀圖；

圖2為本實用新型第一較佳實施例的透視圖；

圖3為本實用新型第一較佳實施例的側視圖；

圖4為本實用新型第一較佳實施例的正視圖；

圖5為本實用新型風力裝置的立體圖；

圖6為本實用新型第二較佳實施例的側視圖。

具體實施方式

請參閱圖1及圖2，本實用新型第一較佳實施例的密閉式集塵吹氣機包含有一機體10、一置具20、一風力裝置30、兩臺離子風扇40、以及一集塵裝置50。其中：

該機體10具有一去塵室12以及一容置空間14，且該去塵室12位于該容置空間14上方。

該置具20設于該去塵室12中，且包含有一樞軸22以及一承架24。該樞軸22與該機臺10連接。該承架24用以供一待處理物(如晶圓、面板、電路板等)100置放。請參閱圖3，該承架24一側與該樞軸22連接，而可相對該樞軸22樞擺，使該承架24往一方向相對該機體10于一角度內傾斜。于本實施例中，該承架24最大傾角可達25度。使用者可依其使用需求，使該承架24于0-25度的范圍內傾斜。

該風力裝置30設于該去塵室12中，且位于該置具20上方。請參閱圖4，該風力裝置30可相對該置具20移動，且其移動方向平行于該置具20的樞軸22。續參閱圖5，該風力裝置30的兩側分別具有多個入風口32，用以供加壓后的空氣輸入。而自所述入風口32輸入的空氣，將從下方呈細長狀的出風口34輸出，以往該置具20的方向吹出垂直于該樞軸22的片狀風壓。

所述離子風扇40設于該去塵室12中，且位于該風力裝置30的兩側，而位于該置具20上方。所述離子風扇40用以產生一定數量的離子布滿該去塵室12。

該集塵裝置50設于該去塵室12下方的容置空間14中，用以往該置具20的方向抽氣，以將該去塵室12中的空氣抽離。