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[實(shí)用新型]一種爐底冷卻結(jié)構(gòu)及使用該爐底冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長(zhǎng)爐有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201220343054.4 申請(qǐng)日: 2012-07-16
公開(kāi)(公告)號(hào): CN202709759U 公開(kāi)(公告)日: 2013-01-30
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張博;趙東 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 登封市藍(lán)天石化光伏電力裝備有限公司
主分類(lèi)號(hào): F27D9/00 分類(lèi)號(hào): F27D9/00;C30B35/00
代理公司: 鄭州睿信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41119 代理人: 韓天寶
地址: 452487 河*** 國(guó)省代碼: 河南;41
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 冷卻 結(jié)構(gòu) 使用 晶體生長(zhǎng)
【說(shuō)明書(shū)】:

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)爐冷卻技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種爐底冷卻結(jié)構(gòu),同時(shí)還涉及使用該爐底冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長(zhǎng)爐。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)上,晶體生長(zhǎng)爐(如單晶爐)的爐底換熱夾層多為內(nèi)嵌導(dǎo)流板結(jié)構(gòu),進(jìn)水方式為左進(jìn)右出或右進(jìn)左出,即在晶體生長(zhǎng)爐的內(nèi)外爐底之間的夾層中間隔交錯(cuò)設(shè)置若干個(gè)導(dǎo)流板,使得從夾層一側(cè)的進(jìn)水口注入的水流經(jīng)由導(dǎo)流板導(dǎo)流后從出水口流出,但是由于導(dǎo)流板與夾層周壁的結(jié)合處為盲端,在使用時(shí),夾層中的氣體會(huì)在水流的壓迫下聚集在導(dǎo)流板與夾層周壁的結(jié)合處,從而造成局部憋氣,進(jìn)而使得晶體生長(zhǎng)爐底部各處的溫度不一,導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)熱場(chǎng)不均衡,增加工藝難度,嚴(yán)重時(shí)使?fàn)t內(nèi)加工物破裂,加工失敗。并且?jiàn)A層中各處的溫度不一致會(huì)導(dǎo)致內(nèi)外爐底的使用壽命降低,從而使得整個(gè)晶體生長(zhǎng)爐的使用壽命降低,降低晶體生長(zhǎng)爐長(zhǎng)期使用的可靠性。

申請(qǐng)?zhí)枮?01120106357.X的中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利公開(kāi)了一種爐底板冷卻結(jié)構(gòu),該爐底冷卻結(jié)構(gòu)中內(nèi)外爐底之間的導(dǎo)流板為從內(nèi)外爐底之間的夾層的中心位置處呈螺旋狀向外延伸的螺旋狀結(jié)構(gòu),導(dǎo)流板的上側(cè)一體連接在內(nèi)爐底上,下側(cè)焊接固定在外爐底上,并將進(jìn)水口設(shè)置在外爐底的中心位置處,出水口設(shè)置在外爐底的邊緣位置處,因此在使用時(shí),冷卻水能夠從夾層的中心位置流入夾層中,并經(jīng)由導(dǎo)流板圍設(shè)而成的螺旋狀導(dǎo)流通道從出水口流出,但是由于導(dǎo)流板處于夾層中心位置處的部分為圍設(shè)在進(jìn)水口周?chē)???C狀進(jìn)水段,從進(jìn)水口進(jìn)入夾層中的水流會(huì)在夾層的中心位置處聚集,導(dǎo)致外爐底的中心位置處所受到的水壓比其他部分大,而且導(dǎo)流板與外爐底之間存在焊縫間隙,因此外爐底的中心位置處容易向下凸起變形,使外爐底與導(dǎo)流板的中心位置處的連接斷開(kāi),長(zhǎng)期使用會(huì)出現(xiàn)外爐底從中心位置處開(kāi)始逐漸從導(dǎo)流板上脫落的問(wèn)題,從而導(dǎo)致從進(jìn)水口流入夾層中的水,經(jīng)由折流板與外爐底之間的斷裂間隙從出水口流出,使得夾層中的水層與內(nèi)爐底之間會(huì)產(chǎn)生憋氣層,而且憋氣層根據(jù)內(nèi)爐底與導(dǎo)流板斷裂的程度,在夾層中各處的厚度各不相同,進(jìn)而導(dǎo)致了夾層中各處散熱效率不同的問(wèn)題,使得內(nèi)爐底上各處的溫度各不相同。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種外爐底與導(dǎo)流板連接可靠的爐底冷卻結(jié)構(gòu),同時(shí)還涉及使用該爐底冷卻結(jié)構(gòu)的晶體生長(zhǎng)爐,旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中晶體生長(zhǎng)爐的外爐底長(zhǎng)時(shí)間在大流量和高水壓的環(huán)境下長(zhǎng)期工作易變形凸起,導(dǎo)流板易倒伏,脫離的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:

本實(shí)用新型的爐底冷卻結(jié)構(gòu)的技術(shù)方案如下:

一種爐底冷卻結(jié)構(gòu),包括內(nèi)、外爐底以及夾設(shè)在內(nèi)、外爐底之間的螺旋狀的導(dǎo)流板,所述導(dǎo)流板具有處于外爐底中心位置處的C狀的進(jìn)水段,所述內(nèi)、外爐底之間設(shè)有處于所述進(jìn)水段內(nèi)或貼近在導(dǎo)流板側(cè)壁上或穿設(shè)在導(dǎo)流板中的連接柱體,所述連接柱體的兩端分別固定在內(nèi)、外爐底上。

所述連接柱體為拉釘,所述連接柱體的上端通過(guò)其焊接密封在內(nèi)、外爐底的其中一個(gè)上開(kāi)設(shè)的拉丁槽內(nèi),所述連接柱體的下端焊接固定在內(nèi)、外爐底的其中另一個(gè)上。

所述連接柱體處于內(nèi)、外爐底中間的部分焊接固定在導(dǎo)流板的側(cè)壁上。

所述連接柱體有至少兩個(gè),并沿所述導(dǎo)流板的進(jìn)水段的邊沿均勻分布。

所述內(nèi)、外爐底之間固定有處于導(dǎo)流板的除進(jìn)水段以外的其余部分的側(cè)壁處的防脫體,所述防脫體的一端固定在內(nèi)爐底上,另一端與外爐底在上下方向限位配合,所述防脫體沿導(dǎo)流板的延伸方向間隔均勻分布。

本實(shí)用新型的晶體生長(zhǎng)爐的技術(shù)方案如下:

一種晶體生長(zhǎng)爐,包括處于爐體底部的爐底冷卻結(jié)構(gòu),所述爐底冷卻結(jié)構(gòu)包括內(nèi)、外爐底以及夾設(shè)在內(nèi)、外爐底之間的螺旋狀的導(dǎo)流板,所述導(dǎo)流板具有處于外爐底中心位置處的C狀的進(jìn)水段,所述內(nèi)、外爐底之間設(shè)有處于所述進(jìn)水段內(nèi)或貼近在導(dǎo)流板側(cè)壁上或穿設(shè)在導(dǎo)流板中的連接柱體,所述連接柱體的兩端分別固定在內(nèi)、外爐底上。

所述連接柱體為拉釘,所述連接柱體的上端通過(guò)其焊接密封在內(nèi)、外爐底的其中一個(gè)上開(kāi)設(shè)的拉丁槽內(nèi),所述連接柱體的下端焊接固定在內(nèi)、外爐底的其中另一個(gè)上。

所述連接柱體處于內(nèi)、外爐底中間的部分焊接固定在導(dǎo)流板的側(cè)壁上。

所述連接柱體有至少兩個(gè),并沿所述導(dǎo)流板的進(jìn)水段的邊沿均勻分布。

所述內(nèi)、外爐底之間固定有處于導(dǎo)流板的除進(jìn)水段以外的其余部分的側(cè)壁處的防脫體,所述防脫體的一端固定在內(nèi)爐底上,另一端與外爐底在上下方向限位配合,所述防脫體沿導(dǎo)流板的延伸方向間隔均勻分布。

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