[實用新型]電氣連接模塊及其使用的測試裝置

有效

• 申請號: 201220340735.5
• 申請日: 2012-07-13
• 公開（公告）號: CN202676750U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 蔡伯晨;洪啟超;侯志輝;鄒秉寰;蕭仁發;陳源保;陳威助;李啟泉
• 申請（專利權）人: 中國探針股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本實用新型是屬于半導體測試設備的領域，特別是關于一種用于半導體測試的電氣連接模塊及其使用的測試裝置。

背景技術

一般半導體芯片的內部是具有一集成電路，且所述集成電路是向外延伸設有多個電極，通常會針對所述多個電極進行電氣特性測試，且以最接近實際使用時的插座型式的一測試裝置進行測試，而模擬真實狀態進行測試，由于所述半導體芯片于插置時會向下壓，以使所述多個電極與一基板的多個設定電極作電性連接。

所述種測試裝置通常是于中央部位設有一待測元件，且于所述待測元件的周圍環繞設有多個電氣連接元件，利用所述多個電氣連接元件本身的電氣及彈性特性，用以頂撐所述待測元件向上，使其于常態時相對保持位于所述測試裝置的上段位置。因此，當所述半導體芯片進行測試時，可利用所述多個電極向下壓制所述待測元件，如所述待測元件可平均下壓所述每一電氣連接元件而形成電性導通，即表示所述半導體芯片的電氣特性正常，如所述多個電極無法平均壓制所述待測元件而發生接觸不良的問題時，無法由所述多個電氣連接元件獲取正常信號值，表示所述半導體芯片的所述集成電路或所述多個電極有問題。

然而，所述測試裝置的測試準確性亦與所述多個電氣連接元件的設計方式息息相關，如所述多個電氣連接元件導電性不佳或無法提供有效的支撐效果及更高頻寬的測試，故無法獲得準確的測試結果。因此，如美國發明專利第7,753,693?B2號「Contacts?and?electrical?connecting?apparatus?using?the?same?」，以及第7,255,576?B2號「Kelvin?contact?module?for?a?microcircuit?test?system?」二案中，是分別公開了二種不同形狀的電氣連接元件的構造。于第7,753,693?B2號一案中，所述待測元件是由呈彎弧形的一頂靠件，且于所述頂靠件內部設有一彈性體（如：橡膠或優力膠等特殊彈性體），當所述待測元件受壓后，使所述頂靠件沿著其弧面作翻轉，進而壓縮所述彈性體，故測試完畢后，所述待測元件可通過所述彈性體的回復彈力而復歸原位。另于第7,255,576?B2號一案中，所述頂靠件同樣是呈彎弧形，而對應設置于一彎弧槽內，并于所述彎弧槽內設有一彈性體（同樣選用如：橡膠或優力膠等），當所述待測元件受壓后，使所述頂靠件沿著所述彎弧槽移動而壓縮所述彈性體，因此，測試完畢后，所述待測元件同樣是通過所述彈性體的回復彈力而復歸原位。但，上述所述多個彈性體的回復彈性跟其本身的彈性系數有直接關系，為兼顧使用時的回復彈性及使用壽命，所述多個彈性體大多需要特殊訂制，相對也造成制造成本的提高，再者，所述多個彈性體受擠壓后容易產生永久形變也是一大問題，故有必要加以改良。

發明內容

本實用新型的一目的，旨在提供一種電氣連接模塊，利用一導電件的二端分別與一彈性件及一待測元件相連接，當所述待測元件受壓后，而能使所述導電件以中央處為支點，而產生類似翹翹板的往復擺動方式，進而提供所述待測元件所需的電氣連接及支撐力等功效。

本實用新型的一目的，旨在提供一種電氣連接模塊，通過調整所述導電件的支點位置，或是更換所述彈性件等方式，而快速調整所述待測元件的受力狀態，以提供設計人員更大的設計彈性。

為達上述目的，本實用新型的電氣連接模塊，供以使一第一電極部及一待測元件作電性導通，其包括：一導電件，是呈T字形結構而具有一第一端、一第二端及一第三端，所述第一端是具有一第一弧面而與所述第一電極部作電性連接，所述第二端是位于所述第一端的一側且設有一靠接部而與所述待測元件作電性連接，所述第三端是位于所述第一端的另一側且設有一容置部；及一彈性件，其一端是活動設置于所述容置部內，受所述彈性件的回復彈力而壓制所述容置部，使所述導電件以所述第一弧面為支點，由所述靠接部而頂撐所述待測元件。另外，所述彈性件是選自彈性體、彈片及彈性體其中的一者，遠較現有技術有更多樣化的選擇，且使用一般常見的彈性體或彈片，也能夠降低制造成本。

于一實施例中，所述導電件是由一第一導電板及一第二導電板所組成，所述第一導電板的一端是與所述第一電極部作電性連接，另一端是形成有一第二弧面，所述第二導電板的中央設有一第三弧面，所述第二弧面及所述第三弧面相靠觸后而使第二導電板相對所述第一導電板作擺動，且所述第二導電板的一端是設有一靠接部而與所述待測元件作電性連接，所述第二導電板的另一端是設有一容置部。