[實(shí)用新型]一種用于真空系統(tǒng)的多功能監(jiān)測儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220327481.3
• 申請日: 2012-07-06
• 公開（公告）號: CN202693563U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆凌昊;郇慶;武榮庭;高鴻鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院物理研究所
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01N27/62;G01M3/34
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 蔡民軍

1.一種用于真空系統(tǒng)的多功能監(jiān)測儀，包括真空腔(1)和抽真空裝置(2)，該真空腔(1)適于維持內(nèi)部的真空，該抽真空裝置(2)與該真空腔(1)密封連接并且能夠?qū)υ撜婵涨?1)內(nèi)部進(jìn)行抽真空，其特征是，該多功能監(jiān)測儀還包括：適于連接該真空系統(tǒng)的監(jiān)測口(6)，該監(jiān)測口(6)通過真空閥門(28)密封連接該真空腔(1)；殘余氣體分析裝置(4)，該殘余氣體分析裝置(4)包含四級質(zhì)譜儀，該四極質(zhì)譜儀密封連接該真空腔(1)并且能夠監(jiān)測三種以上的氣體；儲藏室(5)，該儲藏室通過真空閥門(20)密封連接該真空腔(1)并且能夠儲存樣品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該儲藏室(5)包含：腔體(18)，與該腔體(18)密封連接并且能夠讓保護(hù)氣體充入該腔體(18)內(nèi)的充氣閥(19)，以及設(shè)于該腔體(18)側(cè)壁上并適于密封連接其它裝置的接口(16)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該接口(16)能夠密封連接觀察窗或真空機(jī)械裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該監(jiān)測口(6)通過適配器與各種不同的該真空系統(tǒng)進(jìn)行密封連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該多功能監(jiān)測儀包含可移動支架(7)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該可移動支架包括：用于支持和保護(hù)該多功能監(jiān)測儀的框架(21)，能夠幫助固定該框架(21)的結(jié)構(gòu)的固定板(22、23、24)，能夠放置物體的平臺板(25)和工具盒(26)，以及設(shè)于該框架(21)底側(cè)并能夠使該框架(21)移動的滾輪(27)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該框架(21)由鋁型材構(gòu)成，該支撐板(24)、固定板(22、23)、平臺板(25)和工具盒(26)均由鋁制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多功能監(jiān)測儀，其特征是，該滾輪(27)包含具有剎車裝置的萬向輪。