[實用新型]LED外延片有效
| 申請號： | 201220325566.8 | 申請日： | 2012-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN202633369U | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發明（設計）人： | 高耀輝;張昊翔;封飛飛;金豫浙;萬遠濤;李東昇;江忠永 | 申請（專利權）人： | 杭州士蘭明芯科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/22 | 分類號： | H01L33/22;H01L33/10 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | led 外延 | ||
1.一種LED外延片，包括：
襯底；
圖形層，所述圖形層具有納米凸起圖形，所述納米凸起圖形之間具有空隙間隔，所述圖形層設置于所述襯底上；
外延層，所述外延層設置在所述圖形層上。
2.如權利要求1所述的LED外延片，其特征在于，所述納米凸起圖形的橫截面形狀為三角形、多邊形或圓形。
3.如權利要求1所述的LED外延片，其特征在于，所述納米凸起圖形的寬度為0.05um-0.8um，高度為1um-10um，所述納米凸起圖形之間的空隙間隔的寬度為0.5um-5um。
4.如權利要求1所述的LED外延片，其特征在于，所述納米凸起圖形的頂部具有平臺。
5.如權利要求1所述的LED外延片，其特征在于，所述襯底為藍寶石襯底、碳化硅襯底、硅襯底、氮化鎵襯底或氧化鋅襯底。
6.如權利要求1所述的LED外延片，其特征在于，所述外延層的材料包括氮化鎵基材料、磷化鎵基材料、鎵氮磷基材料及氧化鋅基材料中的一種或幾種的組合。
7.如權利要求1至6中任意一項所述的LED外延片，其特征在于，所述LED外延片設置于制備平面結構LED芯片、不需要剝離的垂直結構LED芯片或需要剝離的垂直結構LED芯片中。
8.如權利要求7所述的LED外延片，其特征在于，所述LED外延片設置于制備平面結構LED芯片或不需要剝離的垂直結構LED芯片中，所述圖形層的材料包含碳化硅、氮化鎵、氧化鋅、硫化鋅、氧化鎂、二氧化鈦及氧化鋁的一種或幾種的組合。
9.如權利要求7所述的LED外延片，其特征在于，所述LED外延片設置于制備需要剝離的垂直結構LED芯片中，所述圖形層的材料包含氧化鋅、硫化鋅及氧化鎂的一種或幾種的組合。
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