[實用新型]一種鈮酸鋰襯底有效
| 申請號： | 201220324626.4 | 申請日： | 2012-07-04 |
| 公開（公告）號： | CN202839724U | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發明（設計）人： | 丁海生;李東昇;馬新剛;江忠永;張昊翔;王洋;李超 | 申請（專利權）人： | 杭州士蘭明芯科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/02 | 分類號： | H01L33/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鈮酸鋰 襯底 | ||
【權利要求書】：
1.一種鈮酸鋰襯底，其特征在于，所述鈮酸鋰襯底通過生長鈮酸鋰晶體并采用多光束激光干涉法照射形成。?
2.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底，其特征在于，所述鈮酸鋰襯底的表面具有周期性變化的折射率，所述周期性變化為一維周期性，或為多維周期性。?
3.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底，其特征在于，所述鈮酸鋰襯底表面平坦。?
4.如權利要求1所述的鈮酸鋰襯底，其特征在于，所述鈮酸鋰襯底表面具有圖形化的結構。?
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