[實用新型]實時調整的頂針機構及其系統有效
| 申請號: | 201220323199.8 | 申請日: | 2012-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN202712132U | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發明(設計)人: | 李蔚然 | 申請(專利權)人: | 深圳翠濤自動化設備股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產權代理事務所 44268 | 代理人: | 王永文;楊宏 |
| 地址: | 518109 廣東省深圳市寶安區大浪街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 實時 調整 頂針 機構 及其 系統 | ||
1.一種實時調整頂針機構的系統,其特征在于,包括頂針機構,及用于實時調整所述頂針機構的位置,使頂針機構的頂針中心與固晶執行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線上的控制裝置;
所述頂針機構包括平面運動平臺、設置在平面運動平臺上的頂針及頂針頂端的頂針中心;
所述控制裝置包括以下功能模塊:
用于獲取吸嘴中心位置圖像的圖像獲取模塊;
用于通過計算獲得吸嘴中心的位置坐標值的圖像處理模塊;
用于傳送吸嘴中心的位置坐標值的運動控制模塊;
用于接收所述吸嘴中心的位置坐標值,并控制頂針機構移動,使頂針機構與固晶執行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線上的驅動器。
2.根據權利要求1所述的實時調整頂針機構的系統,其特征在于,所述圖像獲取模塊為照相機或攝像頭。
3.根據權利要求1所述的實時調整頂針機構的系統,其特征在于,所述圖像處理模塊為CPU。
4.根據權利要求1所述的實時調整頂針機構的系統,其特征在于,所述運動控制模塊設置為控制卡及控制電機。
5.根據權利要求1所述的實時調整頂針機構的系統,其特征在于,所述位置坐標值包括水平面內直角坐標系上的X軸坐標值及Y軸坐標值。
6.根據權利要求1所述的實時調整頂針機構的系統,其特征在于,所述位置坐標值包括水平面內極坐標系上的極徑和極角。
7.一種實時調整的頂針機構,其特征在于,所述頂針機構用于配合上述權利要求1所述實時調整頂針機構的系統,使頂針機構的頂針中心與固晶執行裝置的吸嘴中心在一條縱垂線上,所述頂針機構包括平面運動平臺、設置在平面運動平臺上的頂針及頂針頂端的頂針中心。
8.根據權利要求7所述的頂針機構,其特征在于,所述平面運動平臺包括Y軸運動平臺或X軸運動平臺,設置在Y軸運動平臺或X軸運動平臺上的X軸運動平臺或Y軸運動平臺,所述頂針設置在X軸運動平臺或Y軸運動平臺上的頂針。
9.根據權利要求7所述的頂針機構,其特征在于,所述平面運動平臺包括極軸運動平臺或直線運動平臺,設置在極軸運動平臺或直線運動平臺的直線運動平臺或極軸運動平臺,所述頂針設置在直線運動平臺或極軸運動平臺上。
10.根據權利要求7所述的頂針機構,其特征在于,所述平面運動平臺上設置有與所述驅動器連接的驅動電機。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





