[實用新型]基于鈦基三層金屬膜的石英晶體微天平傳感器有效
| 申請號： | 201220313732.2 | 申請日： | 2012-07-02 |
| 公開（公告）號： | CN202614627U | 公開（公告）日： | 2012-12-19 |
| 發明（設計）人： | 曹忠;龍姝;周婷;龍文斌;徐雷濤;閆璐璐 | 申請（專利權）人： | 長沙理工大學 |
| 主分類號： | G01N5/00 | 分類號： | G01N5/00;G01N11/00;G01N9/04;G01G3/16;G01R27/02;G01R27/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 410004 湖南省長沙市雨花區萬家*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 三層 金屬膜 石英 晶體 天平 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于鈦基三層金屬膜的石英晶體微天平傳感器，該傳感器包括一個石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)表面是鍍鈦膜層(2)，所述鍍鈦膜層(2)表面是鍍銀膜層(3)，所述鍍銀膜層(3)表面是鍍金膜層(4)，形成一種基于鈦基三層金屬膜的石英晶體微天平傳感器。
2.根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍鈦膜層(2)厚度為1?~?50?nm。
3.根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍銀膜層(3)厚度為20?~?200?nm。
4.根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍金膜層(4)厚度為20?~?200?nm。
5.根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述石英晶體片(1)的基頻為4?~?20?MHz。
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