[實用新型]單晶爐熱場加熱器及包括該單晶爐熱場加熱器的單晶爐

有效

• 申請號: 201220313158.0
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN202643898U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 郭凱;高文寬;喬松;尹東坡;周浩
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;余剛

技術領域

本實用新型涉及硅單晶制備裝置，具體而言，涉及一種單晶爐熱場加熱器及包括該單晶爐熱場加熱器的單晶爐。

背景技術

單晶爐是在惰性氣體環境中，采用加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位錯單晶的設備。而加熱器是單晶爐熱場的重要組成部件之一，是為單晶爐供熱的發熱部件。如圖1所示，一般是在加熱器主體10’上設置加熱器腳20’，使加熱器主體10’通過該加熱器腳20’與石墨電極固定連接，由石墨電極提供電源，使電流通過加熱器腳20’流向加熱器主體10’，從而使加熱器主體10’為單晶爐供熱。一般單晶爐每運行五次就需要將加熱器主體10’拆下進行清潔，頻繁的拆卸、安裝加熱器主體10’會使得加熱器腳20’與石墨電極的接觸面產生磨損，造成接觸面不平整，這樣會導致單晶爐運行時，石墨電極與加熱器腳20’之間產生打火事故，造成安全隱患。而由于加熱器主體10’與加熱器腳20’為一體成型，當加熱器腳20’磨損時，就需要更換整個加熱器主體10’，增加了設備的維修成本。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種單晶爐熱場加熱器及包括該單晶爐熱場加熱器的單晶爐，可以只更換磨損的加熱器腳，而保留加熱器主體，降低維修成本。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種單晶爐熱場加熱器，包括加熱器主體以及固定設置在加熱器主體上的加熱器腳，加熱器主體與加熱器腳可拆卸地連接。

進一步地，加熱器主體與加熱器腳之間固定設置有連接件，連接件與加熱器主體可拆卸地連接，加熱器腳與連接件可拆卸地連接。

進一步地，加熱器主體上設置有第一連接孔；加熱器腳上設置有第二連接孔；連接件上設置有第三連接孔以及第四連接孔，第三連接孔與第一連接孔相對應，第四連接孔與第二連接孔相對應。

進一步地，第一連接孔和第二連接孔均為螺紋孔，第三連接孔和第四連接孔均為光孔。

進一步地，第三連接孔和第四連接孔遠離加熱器主體的內壁面的一端分別設置有用于嵌入螺母的凹槽。

進一步地，加熱器腳呈L型，具有相交的第一段以及第二段，第一段上設置有第二連接孔，第二段的內壁面朝向加熱器主體，連接件具有遠離加熱器主體的抵接面，且第二段的內壁面與連接件的抵接面相貼合。

進一步地，連接件固定設置在加熱器主體的內壁面上，且與加熱器主體的內壁面相貼合。

根據本實用新型的另一個方面，提供了一種單晶爐，包括單晶爐熱場加熱器，單晶爐熱場加熱器為前述的單晶爐熱場加熱器。

應用本實用新型的技術方案，通過使加熱器主體與加熱器腳可拆卸地連接，當加熱器腳損壞時，只需要將加熱器腳從加熱器主體上拆除，并更換新的加熱器腳即可，無需更換整個加熱器主體，降低了維修成本。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了現有技術中加熱器的結構示意圖；

圖2示出了根據本實用新型的實施例的單晶爐熱場加熱器的主視圖；以及

圖3示出了根據圖2的單晶爐熱場加熱器的俯視圖。

具體實施方式

下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

如圖2和圖3所示，根據本實用新型的實施例，提供了一種單晶爐熱場加熱器，包括加熱器主體10和加熱器腳20，其中加熱器腳20固定設置在加熱器主體10上，且與加熱器主體10可拆卸地連接。這種結構，將加熱器腳20從加熱器主體10上分離，可以使損壞的加熱器腳20直接被拆卸下來進行更換，而將完好無損的加熱器主體10保留下來繼續工作，避免了材料的浪費，節約了生產成本。

加熱器腳20為L形結構，具有垂直相交的第一段以及第二段，第一段豎直設置在加熱器主體10的下方，且第一段具有兩個沿水平方向設置的第二連接孔21，加熱器主體10具有兩個沿水平方向設置的第一連接孔11，使加熱器主體10和加熱器腳20之間可以通過螺栓連接固定，以方便拆卸操作，或者也可以通過連接桿，與第一連接孔11和第二連接孔21過盈配合固定。第二段水平設置，且向加熱器主體10的中心軸線方向延伸，其內壁面朝向加熱器主體10。第二段的延伸端具有一個沿豎直方向設置的第五連接孔22，用于穿過使加熱器腳20與石墨電極固定連接的螺栓，確保電流能通過加熱器腳20安全地流向加熱器主體10。