[實用新型]PECVD載板導軌

有效

• 申請號: 201220308304.0
• 申請日: 2012-06-28
• 公開（公告）號: CN202688434U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 尤耀明;代寧
• 申請（專利權）人: 無錫綠波新能源設備有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

1.一種PECVD載板導軌，包括長方體形狀的導軌本體（4），其特征是：所述導軌本體（4）的材料為不銹鋼，直接固定在載板（1）上，所述導軌本體（4）沿長度方向的上下兩個平面上開有貫穿的多個螺絲孔（5），所述導軌本體（4）沿長度方向的左右兩個側面上開有多個凹槽（6）。

2.按照權利要求1所述的PECVD載板導軌，其特征是：每個所述凹槽（6）分別位于相鄰的兩個所述螺絲孔（5）之間。

3.按照權利要求2所述的PECVD載板導軌，其特征是：所述多個螺絲孔（5）均布在所述導軌本體（4）上。

4.按照權利要求3所述的PECVD載板導軌，其特征是：所述凹槽（6）的長度（L2）小于所述螺絲孔（5）的間距（L1）。

5.按照權利要求1所述的PECVD載板導軌，其特征是：所述導軌本體（4）兩側的所述凹槽（6）沿多個所述螺絲孔（5）軸線所在的面對稱分布。